[发明专利]一种原子束填充加工装置

权利要求书

1.一种原子束填充加工装置，其特征在于设有底座、直线电机、X轴承载板、Y轴承载板、支柱、横梁、Z轴承载板、旋转圆盘、固定座、伺服电机、原子束发生装置、原子束能量控制装置和准直装置；所述直线电机固定在底座上，并通过连接块与X轴承载板相固连，X轴承载板与底座之间采用滑块和导轨相连接；Y轴承载板与X轴承载板之间，Z轴承载板与横梁之间通过直线电机和连接块相连并采用滑块和导轨相连接，支柱固定在底座两端，横梁与支柱之间连接，旋转圆盘上装有弧形齿条且通过轴承固定于Z轴承载板上，伺服电机通过电机固定座固定于Z承载板上，伺服电机的转轴末端装有齿轮，齿轮与旋转圆盘上的弧形齿条啮合，原子束发射装置设在原子束能量控制装置上部，准直装置装在原子束能量控制装置的底部并对准工件表面缺陷，原子束能量控制装置通过固定座固定于旋转圆盘上，旋转圆盘用于实现原子束发射角度的调整；工件固定在Y轴承载板上，X轴承载板通过滑块和导轨的配合采用直线电机驱动，工件在X轴方向上移动；Y轴承载板通过滑块和导轨的配合采用直线电机驱动，工件在Y轴方向上移动；原子束填充装置安装在Z轴承载板上，Z轴承载板通过滑块和导轨的配合采用直线电机驱动，原子束填充装置在Z轴方向上移动；旋转圆盘通过弧形齿条和齿轮的传动配合，伺服电机驱动齿轮转动，通过齿轮和弧形齿条的传动配合以转动旋转圆盘。