[发明专利]激光输出调整装置及方法

权利要求书

1.一种激光输出调整装置，其特征在于，包括：

激光部，生成激光光束；

光学部，提供所述激光光束经过的路径；

加工部，使经过所述光学部的激光光束照射到基板上；

第一测定部，设置于所述激光部与所述光学部之间，测定生成于所述激光部的激光光束的输出能量；

第二测定部，设置于所述光学部的内部，测定经过所述光学部的激光光束的输出能量；

控制部，接收由所述第一测定部和所述第二测定部测定的激光光束的输出信号，将信号传送到所述激光部，从而调整生成于所述激光部的激光光束的输出能量。

2.根据权利要求1所述的激光输出调整装置，其特征在于：

当由所述第一测定部测定的激光光束的输出能量小于预先设定的激光光束的输出能量时，在所述控制部显示所述激光部出现问题的同时，对生成于所述激光部的激光光束的输出能量进行调整，以使所述第一测定部测定的激光光束的输出能量与所述预先设定的激光光束的输出能量一致，

当由所述第一测定部测定的激光光束的输出能量与所述预先设定的激光光束的输出能量一致，而由所述第二测定部测定的激光光束的数据小于所述预先设定的激光光束的输出能量时，在所述控制部显示所述光学部出现问题的同时，对生成于所述激光部的激光光束的输出能量进行调整，以使所述第二测定部测定的激光光束的输出能量与所述预先设定的激光光束的输出能量一致。

3.根据权利要求1所述的激光输出调整装置，其特征在于，还包括：

第一射束分离器，该第一射束分离器被安装在所述激光部和所述光学部之间，用于分离生成于所述激光部的激光光束。

4.根据权利要求3所述的激光输出调整装置，其特征在于：

所述第一射束分离器分离的激光光束占生成于所述激光部的激光光束的输出能量的1%至2%。

5.根据权利要求3所述的激光输出调整装置，其特征在于，还包括：

覆盖板，用于将所述第一射束分离器分离出的激光光束反射到所述第一测定部。

6.根据权利要求1所述的激光输出调整装置，其特征在于，还包括：

第二射束分离器，该第二射束分离器设置于所述光学部内部，并对经过所述光学部的激光光束进行分离。

7.根据权利要求6所述的激光输出调整装置，其特征在于：

所述第二射束分离器分离的激光光束占经过所述光学部的激光光束的输出能量的1%至2%。

8.根据权利要求1所述的激光输出调整装置，其特征在于：

在所述第二测定部的侧面安装有散射器。

9.根据权利要求8所述的激光输出调整装置，其特征在于：

所述散射器被安装成，与第二测定部的侧面呈大于0°且小于45°的角度倾斜。

10.根据权利要求书9所述的激光输出调整装置，其特征在于：

所述散射器的材质为熔融石英。

11.一种激光输出调整方法，其特征在于：

将由第一测定部测定的生成于所述激光部的激光光束的输出信号以及由第二测定部测定的经过所述光学部的激光光束的输出信号传送至所述激光部，从而对生成于所述激光部的激光光束的输出能量进行调整，其中，所述第一测定部设置在生成激光光束的激光部与提供激光光束经过的路径的光学部之间，所述第二测定部设置在所述光学部内部。

12.根据权利要求11所述的激光输出调整方法，其特征在于：

当由所述第一测定部测定的激光光束的输出能量小于预先设定的激光光束的输出能量时，在所述控制部显示所述激光部存在问题的同时，对生成于所述激光部的激光光束进行调整，以使由所述第一测定部测定的激光光束的输出能量与所述预先设定的激光光束的输出能量一致，

当由所述第一测定部测定的激光光束的输出能量与所述预先设定的激光光束的输出能量一致，而由所述第二测定部测定的激光光束的数据小于所述预先设定的激光光束的输出能量时，在所述控制部显示所述光学部出现问题的同时，对生成于所述激光部的激光光束的输出能量进行调整，以使所述第二测定部测定的激光光束的输出能量与所述预先设定的激光光束的输出能量一致。