[发明专利]用于微波真空电子器件的阴极发射测试装置和系统

权利要求书

1.一种阴极发射测试装置，包括阳极(13)、阴极(14)、电极(19)和管壳(17)，其特征在于，还包括一个电极法兰(18)，所述阳极(13)和电极(19)均安装在所述电极法兰(18)上，所述电极(19)与阴极(14)连接。

2.如权利要求1所述的阴极发射测试装置，其特征在于，所述电极法兰(18)与所述管壳(17)的一端固定，所述阳极(13)的朝向所述阴极(14)的发射表面、所述电极(19)的朝向所述阴极(14)的一端，以及整个阴极(14)均密封于管壳(17)内。

3.如权利要求2所述的阴极发射测试装置，其特征在于，所述管壳(17)的另一端则连接一个排气法兰(16)，所述排气法兰(16)上具有一个连接排气系统的抽真空泵机组的接口。

4.如权利要求3所述的阴极发射测试装置，其特征在于，所述管壳(17)的两端通过密封圈(15)与所述电极法兰(18)、所述排气法兰(16)进行连接。

5.如权利要求1所述的阴极发射测试装置，其特征在于，所述阳极(13)、电极(19)与所述电极法兰(18)的连接是永久连接。

6.如权利要求1所述的阴极发射测试装置，其特征在于，所述阴极(14)与电极(19)之间的连接是非永久连接。

7.如权利要求1所述的阴极发射测试装置，其特征在于，所述阴极(14)通过阴极引线固定在电极(19)上。

8.如权利要求7所述的阴极发射测试装置，其特征在于，所述阴极(14)通过阴极引线与电极(19)进行焊接，所述阴极(14)和所述阳极(13)之间的距离和平行度在所述焊接过程中得到调节。

9.一种多工位阴极发射测试系统，包括多个阴极发射测试装置，其特征在于，所述阴极发射测试装置为权利要求1-8中任一项所述的阴极发射测试装置。

10.如权利要求9所述的多工位阴极发射测试系统，其特征在于，还包括一个真空泵机组(21)和多个阀门(20)，所述多个阀门(20)中的每一个分别连接各阴极发射测试装置和所述真空泵机组(21)，以控制对任意一个或多个阴极发射测试装置进行抽真空。