[发明专利]一种监控光刻设备光路稳定性的装置有效
| 申请号： | 201210343622.5 | 申请日： | 2012-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN102866593A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 朱骏;张旭昇 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 监控 光刻 设备 稳定性 装置 | ||
1.一种监控光刻设备光路稳定性的装置，包括有照明光路装置和投影光路装置的光刻设备，其特征在于，于所述照明光路装置和所述投影光路装置上设置至少一个水平仪。
2.根据权利要求1所述的监控光刻设备光路稳定性的装置，其特征在于，还包括光刻信息管理系统，所述水平仪与所述光刻信息管理系统联机。
3.根据权利要求1或2所述的监控光刻设备光路稳定性的装置，其特征在于，所述水平仪为机械式水平仪或电子水平仪。
4.根据权利要求1或2所述的监控光刻设备光路稳定性的装置，其特征在于，所述照明光路装置包括多个光路镜头。
5.根据权利要求4所述的监控光刻设备光路稳定性的装置，其特征在于，于所述每个光路镜头上均设置有水平仪。
6.根据权利要求1或2所述的监控光刻设备光路稳定性的装置，其特征在于，所述投影光路装置也包括多个光路镜头。
7.根据权利要求6所述的监控光刻设备光路稳定性的装置，其特征在于，于所述每个投影管路中的光路镜头上均设置有水平仪。
8.根据权利要求1所述的监控光刻设备光路稳定性的装置，其特征在于，所述投影光路装置还包括掩膜板，所述掩膜板上设置有水平仪。
9.根据权利要求1所述的监控光刻设备光路稳定性的装置，其特征在于，所述光刻设备还包括光刻机硅片工作台，所述光刻机硅片工作台上设置有水平仪。
10.根据权利要求9所述的监控光刻设备光路稳定性的装置，其特征在于，所述光刻设备还包括光刻机避震台，所述光刻机硅片工作台设置于所述光刻机避震台上。
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