[发明专利]适用于380～390GHz频段的波导带通滤波器

权利要求书

1.一种应用于380～390GHz的太赫兹波导滤波器，上腔体（1）和下腔体（2）闭合形成滤波器波导腔（3），其特征在于闭合形成滤波器波导腔的上腔体和下腔体为硅基镀金材质，波导腔由输入段（4）、输出段（5）以及位于输入段与输出段之间3~7个谐振腔构成，以空气为填充介质，波导腔横截面的宽、高尺寸分别为0.56mm±5μm、0.28mm±5μm，谐振腔由对称隔墙构成的感性耦合窗分隔形成，位于两端的谐振腔腔长小于位于中间谐振腔腔长，位于两端的感性耦合窗的窗宽大于位于中间的感性耦合窗的窗宽。

2.根据权利要求1所述的应用于380～390GHz的太赫兹波导滤波器，其特征在于设置有5~6个的谐振腔，谐振腔腔长由两端向内分别为449±3μm、499±3μm、502±3μm，感性耦合窗的窗宽由两端向内分别为287±3μm、187±3μm、171±3μm。

3.根据权利要求1或2所述的应用于380～390GHz的太赫兹波导滤波器，其特征在于闭合形成滤波器波导腔的上腔体为平整基片，下腔体为在基片上通过蚀刻加工出滤波器波导腔的整体结构，上腔体封盖在下腔体键合构成滤波器。

4.根据权利要求3所述的应用于380～390GHz的太赫兹波导滤波器，其特征在于下腔体（2）的结构在横、纵方向均相对于中心线对称。

5.根据权利要求3所述的应用于380～390GHz的太赫兹波导滤波器，其特征在于构成感性耦合窗的隔墙上缘与下腔体基片表面平齐，其下端与谐振腔底面平齐。

6.根据权利要求5所述的应用于380～390GHz的太赫兹波导滤波器，其特征在于构成感性耦合窗的隔墙厚度为60μm±3μm。

7.根据权利要求1或2所述的应用于380～390GHz的太赫兹波导滤波器，其特征在于下腔体（2）为在硅质基片上通过蚀刻加工出波导腔的整体结构，再通过溅射镀金工艺在波导腔结构上镀覆镀金层。

8.根据权利要求6所述的应用于380～390GHz的太赫兹波导滤波器，其特征在于下腔体（2）为在硅质基片上通过蚀刻加工出波导腔的整体结构，再通过溅射镀金工艺在波导腔结构上镀覆镀金层。

9.根据权利要求7所述的应用于380～390GHz的太赫兹波导滤波器，其特征在于镀金层的厚度为2.5~3.5μm。

10.根据权利要求8所述的应用于380～390GHz的太赫兹波导滤波器，其特征在于镀金层的厚度为2.5~3.5μm。