[发明专利]高强度电磁辐射装置与方法

权利要求书

1.一种用于产生电磁辐射的装置，该装置包括：

a)电绝缘的流发生器，其被配置成生成沿封套内表面的液体流，其中所述电绝缘的流发生器包括电导体和围绕所述导体的电绝缘；

b)第一和第二电极，其被配置成在封套内生成电弧，以便产生电磁辐射；以及

c)到所述第一电极的电连接，其中所述电连接包括所述电绝缘的流发生器的所述导体，并且所述电绝缘围绕所述第一电极和所述导体。

2.如权利要求1所述的装置，其中所述第一电极包括阴极。

3.如权利要求1所述的装置，其中所述电绝缘包括所述封套。

4.如权利要求3所述的装置，其中所述电绝缘还包括绝缘罩。

5.如权利要求4所述的装置，其中所述绝缘罩围绕至少部分所述封套。

6.如权利要求5所述的装置，其中所述电绝缘还包括所述绝缘罩与所述封套的所述部分之间的空间中的气体。

7.如权利要求6所述的装置，还包括与所述绝缘罩的内表面和所述封套的所述部分的外表面配合以便将所述气体密封到所述空间中的一对彼此隔开的密封。

8.如权利要求7所述的装置，其中所述气体是压缩的。

9.如权利要求4所述的装置，其中所述绝缘罩包括塑料和陶瓷中的至少一种。

10.如权利要求3所述的装置，其中所述封套包括透明圆柱管。

11.如权利要求10所述的装置，其中所述管具有至少四毫米的厚度。

12.如权利要求11所述的装置，其中所述管具有至少五毫米的厚度。

13.如权利要求10所述的装置，其中所述管包括精膛圆柱管。

14.如权利要求13所述的装置，其中所述精膛圆柱管具有至少低到5×10^-2毫米的尺度容差。

15.如权利要求10所述的装置，其中所述管包括石英。

16.如权利要求15所述的装置，其中所述管包括纯石英。

17.如权利要求15所述的装置，其中所述管包括掺铈石英。

18.如权利要求10所述的装置，其中所述管包括蓝宝石。

19.如权利要求1所述的装置，其中所述第一和第二电极包括阴极和阳极，所述阴极具有比所述阳极短的长度。

20.如权利要求1所述的装置，其中所述第一电极包括具有突出长度的阴极，所述阴极沿该突出长度在所述封套内轴向向内、向着装置的中心突出，超过封套中所述装置的次最内部件。

21.如权利要求20所述的装置，其中所述突出长度小于所述阴极直径的两倍。

22.如权利要求21所述的装置，其中所述突出长度足够长，以便防止所述电弧在所述流发生器与所述第二电极之间发生。

23.如权利要求22所述的装置，其中所述突出长度至少是三点五厘米。

24.如权利要求20所述的装置，其中所述流发生器包括所述次最内部件，而且其中超过所述流发生器的阴极突出长度小于五厘米。

25.一种系统，包括多个如权利要求1所限定的装置，所述多个装置被配置成辐照共同的目标。

26.如权利要求25所述的系统，其中所述多个装置被配置成辐照半导体晶片。

27.如权利要求25所述的系统，其中所述多个装置被配置成彼此并联。

28.如权利要求27所述的系统，其中所述多个装置中的每个装置排列在与所述多个装置中的相邻装置相对的方向上。

29.如权利要求28所述的系统，其中所述多个装置中的所述每个装置的阴极与所述多个装置中的所述相邻装置的阳极相邻。

30.如权利要求27所述的系统，其中所述多个装置中的每个装置的所述第一和第二电极之间的轴线与所述多个装置中的相邻装置的所述第一和第二电极之间的轴线隔开小于1×10^-1米。