[发明专利]激光热刻蚀有机光刻胶及其制备方法

权利要求书

1.一种激光热刻蚀有机光刻胶，其特征在于是由间苯三酚与醛类在酸的催化下发生缩合反应生成的4、6、10、12、16、18、22、24、25、26、27、28-十二羟基杯[4]芳烃衍生物，其分子结构通式如下：

其中:OH和HO代表羟基，R代表是碳数目1～7的烷基、碳数目6～10的芳香基基团。

2.权利要求1所述的激光热刻蚀有机光刻胶的制备方法，其特征在于该方法的具体制备步骤如下：

①合成原料及其重量百分比的取值范围为：间苯三酚3.1wt%～6.3wt%；浓盐酸15wt%～20wt%；醛类化合物1.5wt%～6.6wt%；乙醇33.55wt%～52.8wt%；去离子水24wt%～39.5wt%；选定合成原料的重量百分比并称量原料；

②将所述的间苯三酚溶解于所述的乙醇和去离子水的混合溶液中，通入氮气保护下，搅拌并缓慢地滴加所述的浓盐酸，然后再缓慢地将所述的醛类化合物逐滴地加入，在温度为25℃～78℃下搅拌反应12～48小时，反应式如下：

③反应后，静置冷却1～2小时，减压抽滤干燥，得到目标产物激光热刻蚀有机光刻胶。

3.根据权利要求2所述的激光热刻蚀有机光刻胶的制备方法，其特征在于所述的醛类化合物是甲醛、乙醛、丙醛、丁醛、戊醛、己醛、庚醛、丙烯醛、3-环己烯-1-甲醛、苯甲醛、或肉桂醛。