[发明专利]流体控制装置

权利要求书

1.一种流体控制装置，其特征在于，包括：

振动板，该振动板具有第一主面及第二主面；

驱动体，该驱动体设于所述振动板的所述第一主面，并使所述振动板振动；以及

板，该板与所述振动板的所述第二主面相对设置，并设有孔，

所述振动板和所述板中的至少一方位于所述孔与所述振动板的、和所述孔相对的区域之间，并具有突出部，该突出部朝所述孔与所述振动板的、和所述孔相对的区域的中间方向突出。

2.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，

所述流体控制装置还包括基板，该基板与所述板接合，并形成有开口部，

所述板具有可动部和固定部，其中，所述可动部面向所述基板的所述开口部并能弯曲振动，所述固定部被约束在所述基板上。

3.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，

所述突出部形成于所述振动板的所述第二主面，并朝所述板侧突出。

4.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，

所述突出部形成为圆柱状。

5.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，

所述突出部具有厚度随着靠近所述突出部的周缘而变薄的形状的端部。

6.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，

所述振动板整体中的、除了所述突出部之外的区域通过蚀刻而形成为厚度比所述振动板的所述突出部的区域的厚度薄。

7.如权利要求2所述的流体控制装置，其特征在于，

所述突出部的靠所述开口部一侧的表面的面积为所述开口部的开口面的面积以上。

8.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，

所述流体控制装置包括振动板单元，该振动板单元具有：所述振动板；框板，该框板围住所述振动板的周围；以及连接部，该连接部将所述振动板与所述框板连接，并将所述振动板弹性支承于所述框板，

所述板以与所述振动板的所述第二主面相对的方式与所述框板接合。

9.如权利要求8所述的流体控制装置，其特征在于，

所述板通过含有多个微粒的粘接剂夹着所述多个微粒而粘接在所述框板上。

10.如权利要求8所述的流体控制装置，其特征在于，

在所述板的与所述连接部相对的区域内形成有孔部。

11.如权利要求1至10中任一项所述的流体控制装置，其特征在于，

所述振动板及所述驱动体构成致动器，

所述致动器呈圆板状。