[发明专利]一种双面翻转门结构等离子清洗设备

权利要求书

1.一种双面翻转门结构等离子清洗设备，其特征在于，包括真空系统（1），门（2），真空室体（3），铰链（4），挂具组件（5）,高压引入电极（6）,真空系统及室体支架（7）,高压轰击极板（8）;所述的铰链（4）包括铰链固定板（4a），铰链轴（4b），铰链板（4c），定位装置（4d），转轴（4e），把手（4f）。

2.根据权利要求1所述的双面翻转门结构等离子清洗装置，其特征在于：所述的门（2）通过铰链（4）与真空室体（3）相连，门（2）的两面均装有装卡灯具的挂具组件（5），门（2）的上下各有一个旋转轴（4e），门（2）可以绕旋转轴（4e）做180°旋转。

3.根据权利要求1所述的双面翻转门结构等离子清洗装置，其特征在于：所述的真空室体（3）为立式安装，主体是一个不锈钢壳体，其上有密封圈、抽气口、观察窗、大气点测量点、充气装置、规管接口、包括精密气体质量流量计的掺气装置。

4.根据权利要求1所述的双面翻转门结构等离子清洗装置，其特征在于：所述的铰链（4）其特点在于铰链的固定板（4a）固定在室体法兰上，开关门时铰链板（4c）绕铰链轴（4b）旋转，铰链板（4c）上下各有一个旋转轴（4e）固定在门上，门可绕此轴旋转，上铰链板上安装有自动定位装置（4d）。

5.根据权利要求1所述的双面翻转门结构等离子清洗装置，其特征在于：所述的挂具组件（5）安装在门上，用来装卡灯具进行清洗，它由不锈钢光元焊接成主体，在其上装有用弹簧丝制作的卡具。

6.根据权利要求1所述的双面翻转门结构等离子清洗装置，其特征在于：所述的高压轰击极板（8）固定在高压电引入电极（6）上，所述的高压电引入电极（6）从电源引入高压电到轰击极板上并与室体可靠绝缘。

7.根据权利要求1所述的双面翻转门结构等离子清洗装置，其特征在于：所述的支架（7）由型钢焊接而成。

8.根据权利要求1所述的双面翻转门结构等离子清洗装置，其特征在于：所述的高压轰击极板（8）是由抛光的纯铝板制成，两块高压轰击极板（8）沿长度方向平行布置在室体底板上。