[发明专利]气动驱动的喷射阀、改进的喷射系统和改进的喷射方法

权利要求书

1.一种用于与流体材料供给源和空气压力供给源一起使用的喷射阀，包括：

气动促动器，所述气动促动器具有气动活塞和从所述气动活塞延伸的驱动销，所述驱动销通过所述气动活塞移动；

具有第一室和第二室的壳体，所述气动活塞被封闭在所述第一室和所述第二室之间；

连接到所述空气压力供给源的第一电磁阀，所述第一电磁阀具有第一状态，在所述第一状态中，空气压力被供给到所述第一室，以将第一力施加到所述气动活塞，以用于在第一方向上移动所述气动活塞和驱动销，且所述第一电磁阀具有第二状态，在所述第二状态中，所述第一空气室被排放到环境压力；

连接到所述空气压力供给源的第二电磁阀，所述第二电磁阀具有第一状态，在所述第一状态中，空气压力被供给到所述第二室，以将第二力施加到所述气动活塞，以用于在第二方向上移动所述气动活塞和驱动销，且所述第二电磁阀具有第二状态，在所述第二状态中，所述第二空气室被排放到环境压力；

流体室，所述流体室封闭阀座和阀元件，所述阀元件能够移动到与所述阀座接触的位置；

喷嘴，所述喷嘴具有流动通道和分配孔，所述流动通道与所述阀座流体连通；和

控制器，所述控制器可操作以将所述第一电磁阀保持在所述第一状态第一时段且将所述第二电磁阀保持在所述第一状态第二时段，所述第二时段的开始跟随所述第一时段的开始，并且其中所述控制器在所述第一时段和所述第二时段之间维持预定的重叠时段，所述驱动销在所述第二时段期间向所述阀座移动，并且其中所述重叠时段用于控制在所述第二时段期间所述驱动销向所述阀座移动时的所述驱动销的速度，在所述第二时段期间的所述驱动销的移动导致所述阀元件移动成与所述阀座接触。

2.根据权利要求1所述的喷射阀，进一步包括：

包含所述流体室的流体模块，

其中在所述第二时段期间的所述驱动销的移动导致所述驱动销接触所述流体模块，并且所述驱动销与所述流体模块的接触导致所述阀元件移动成与所述阀座接触。

3.根据权利要求2所述的喷射阀，进一步包括：

在所述流体模块中的弹性构件，所述弹性构件被构造成将所述阀元件偏压离开所述阀座。

4.根据权利要求1所述的喷射阀，其中所述壳体包括弹簧，所述弹簧在所述气动活塞上施加弹簧偏压。

5.根据权利要求4所述的喷射阀，其中在所述气动活塞通过供给到所述第一室的压缩空气在所述第一方向上移动时，所述弹簧被压缩，并且，在所述气动活塞通过供给到所述第二室的压缩空气在所述第二方向上移动时，所述弹簧伸展。

6.根据权利要求1所述的喷射阀，其中所述阀元件与所述阀座接触的每个移动将材料滴通过喷嘴孔喷出。

7.一种用于喷射材料的系统，包括：

气动喷射装置，所述气动喷射装置具有活塞，所述活塞导致阀元件与阀座接触的移动，以喷射材料滴；和

具有使用者接口的控制器，其中所述使用者接口使得使用者能够改变所述阀元件的速度，

其中所述喷射装置具有在所述活塞的相反侧上的上活塞室和下活塞室，所述上活塞室和下活塞室通过独立的电磁阀控制，并且其中所述阀元件的速度通过所述控制器通过所述螺线管的控制而被控制。

8.根据权利要求7所述的系统，其中所述螺线管被控制，以提供希望的重叠时段，在所述希望的重叠时段期间，压缩空气被同时供给到所述上活塞室和下活塞室。

9.在一种用于将材料滴喷射到基片上的系统中，所述系统具有喷射装置和控制器，所述喷射装置具有气动驱动活塞，所述气动驱动活塞导致阀元件与阀座接触的移动，以喷射材料滴，其中，所述喷射装置具有在所述活塞的相反侧上的上活塞室和下活塞室，所述上活塞室和下活塞室通过独立的电磁阀控制，一种用于从所述喷射装置喷射材料滴的方法包括如下步骤：

提供使用者接口，使用者能够使用所述使用者接口以改变所述阀元件的速度；

在所述使用者接口处接受来自所述使用者的输入；和

通过控制所述螺线管以提供希望的重叠时段，使用所述输入来控制所述阀元件的速度，在所述希望的重叠时段期间，压缩空气被同时供给到所述上活塞室和下活塞室。

10.根据权利要求9所述的方法，其中接受来自所述使用者的输入的步骤包括：接受涉及要从所述喷射装置喷射的材料的输入。