[发明专利]带旁路保护的铝刻蚀腔压力计管路有效
| 申请号： | 201210295758.3 | 申请日： | 2012-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN103630290A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 杨利;孙希 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/06 | 分类号： | G01L19/06 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 旁路 保护 刻蚀 压力计 管路 | ||
【权利要求书】：
1.一种带旁路保护的铝刻蚀腔压力计管路，包括下腔体、压力计焊接管路、加热器及压力计，所述下腔体及所述加热器通过所述压力计焊接管路相连接，所述压力计与所述加热器相连接，其中所述加热器用于对所述下腔体、压力计焊接管路及压力计进行加热，所述压力计用于测量所述铝刻蚀腔内的压力值，其特征在于：所述加热器及所述压力计焊接管路中间加装有一旁路。
2.如权利要求1所述的带旁路保护的铝刻蚀腔压力计管路，其特征在于：所述旁路包括焊接箱体、旁路焊接管路及三通管，所述三通管的上端口与所述加热器的下端口密封连接，所述三通管的下端口与所述压力计焊接管路的上端口密封连接，所述三通管侧面端口与所述旁路焊接管路密封连接。
3.如权利要求2所述的带旁路保护的铝刻蚀腔压力计管路，其特征在于：所述旁路焊接管路的管径比所述压力计焊接管路的管径大。
4.如权利要求1所述的带旁路保护的铝刻蚀腔压力计管路，其特征在于：所述压力计为两个。
5.如权利要求1所述的带旁路保护的铝刻蚀腔压力计管路，其特征在于：所述压力计为多个。
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