[发明专利]一种干法腐蚀去除电池极片毛刺的方法

权利要求书

1.一种利用干法腐蚀去除电池极片毛刺的方法，其特征在于：利用电感线圈将反应气体离子化，使得离子化后的反应粒子在DC偏压下轰击电池极片毛刺表面，使电池极片工件边缘的毛刺在物理轰击效果下被消除，从而达到消除因工件加工带来的边缘毛刺。

2.根据权利要求1所述的电池极片的去毛刺方法，其特征在于：所使用的设备是电感耦合等离子体刻蚀仪（ICP）。

3.根据权利要求2所述的去除电池极片毛刺的方法，其特征在于：电池极片毛刺的卷绕材料置于ICP的平台上，该卷绕材料薄片在平台上进行一定时间的去除毛刺。

4.根据权利要求3所述的去除电池极片毛刺的方法，其特征在于：所述的卷绕材料为：铝、铁、铜、金金属或合金材料、氮化镓，氮化铟及其多元合金半导体材料，氧化硅，氮化硅介质材料。

5.根据权利要求1至4之一所述的去除电池极片毛刺的方法，其特征在于：所述ICP刻蚀0.1mm-3mm厚度的材料，不同材料去毛刺条件不同，条件范围如下：腔体气压：5~15帕，ICP功率:  80~250瓦，DC偏压：5-750V，等离子频率：13-14MHz，氯气、三氯化硼流量比：8：1，轰击时间：1~10分钟。

6.根据权利要求5所述的去除电池极片毛刺的方法，其特征在于：0.1mm厚度的铝箔，设定以下参数：腔体气压：10±0.5帕，ICP功率:  150±2瓦， DC偏压：70±5V，等离子频率：13MHz，氯气、三氯化硼流量比：8：1，轰击时间：3±0.5分钟。