[发明专利]一种多级浮动涡旋真空泵及其使用方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种真空泵的技术领域，尤其涉及一种多级浮动涡旋真空泵及其使用方法的技术领域。

背景技术

在机械领域，涡卷式装置用于压缩机和膨胀机，涡卷是在一个端板上延伸出一个具有螺旋剖面的柱面的元件。通常一个是固定的，叫做固定涡卷。另一个涡卷具有与固定涡卷的螺旋柱面相共轭的螺旋柱面，并相对于固定涡卷做圆形的平动，也叫绕动，被称为绕动涡卷。

这两种涡卷的互相共轭的螺旋式涡卷 柱面相互啮合形成线接触。

一对相邻的线接触与端板表面之间至少形成一个密封的压缩气室。当一个绕动涡卷相对于固定涡卷做绕动运动时，在螺旋型侧壁上的线接触会沿着该侧壁移动，从而改变密封气室的大小。而绕动运动的方向将决定密封气室膨胀或是压缩流体。

通过固定涡卷和绕动涡卷之间形成密闭性线接触的真空泵，通过进气口抽取气体，以降低进气口的气体压力，提高进气口真空度。现有的真空泵常采用固定涡卷和绕动涡卷多圈涡卷元件的方式。涡卷的圈数越多则从排气口到进气口通过压缩气室之间的内泄漏会越低，从而提高了真空泵的抽气极限真空度。但采用多圈涡卷元件的话，由于做绕动运动时位于压缩区内的空气压力会提高，尤其是在抽真空的早期阶段，进气压力接近于大气压，多圈涡卷原件会使压缩气室内的气体产生较大的压力提升，而内部压力会过大，导致产生作用在绕动涡卷和固定涡卷很大的轴向和径向的分离力，增大了能耗。

发明内容

本发明提供了一种多级浮动涡旋真空泵及其使用方法，以解决现有固定涡卷和绕动涡卷采用多圈涡卷元件方式的真空泵，由于做绕动运动时位于压缩区内的空气压缩比过高，内部压力过大，导致产生很大的轴向和径向的分离力和能耗大的问题，无法进一步通过增加涡卷的圈数来提高真空泵的极限真空度。

为了实现上述目的，本发明采取的技术方案为：

一种多级浮动涡旋真空泵及其使用方法，包括若干串联连接的真空泵，每一所述真空泵包括：

一固定涡卷基座；

一位于所述固定涡卷基座上的固定涡卷；以及

一相对于所述固定涡卷做绕动运动的绕动涡卷；

其中，位于所述固定涡卷外圈涡卷元件的端板上开设进气口，位于所述固定涡卷内圈涡卷元件的端板上开设排气口；所述排气口具有一排气阀组件，用于开启或关闭所述排气口；所述真空泵还包括气管，每一下游的真空泵的进气口通过所述气管与相邻的上游的真空泵的排气口连接。

上述的一种多级浮动涡旋真空泵及其使用方法，其中，所述排气阀组件包括舌簧阀片和限位板，所述固定涡卷内圈涡卷元件的端板上还具有气阀室，所述气阀室通过所述气管与下游的所述真空泵的进气口连接，并且所述气阀室贯穿所述固定涡卷基座，所述限位板的一端固设在所述气阀室内的固定涡卷的端板上，并且所述限位板下压所述舌簧阀片，所述限位板的另一端限制所述舌簧阀片的开启角度，同时，所述舌簧阀片贴合于位于所述固定涡卷端板中部的排气口上。

上述的一种多级浮动涡旋真空泵及其使用方法，其中，所述舌簧阀片可弹性地开启或关闭所述排气口；当所述舌簧阀片紧贴所述排气口时，所述舌簧阀片关闭所述排气口，当所述舌簧阀片开启时，并紧贴所述限位板的另一端，以此限制所述舌簧阀片的上升。

上述的一种多级浮动涡旋真空泵及其使用方法，其中，还包括有一阀盖，所述阀盖覆盖于所述固定涡卷基座上的所述气阀室。

上述的一种多级浮动涡旋真空泵及其使用方法，其中，所述气管贯穿所述阀盖，并与所述气阀室连通。

上述的一种多级浮动涡旋真空泵及其使用方法，其中，所述真空泵的数量为两个。

上述的一种多级浮动涡旋真空泵及其使用方法，其中，上游的所述真空泵未安装所述排气阀组件，下游的所述真空泵安装有所述排气阀组件。

上述的一种多级浮动涡旋真空泵及其使用方法，其中，所述真空泵的数量为三个以上。

上述的一种多级浮动涡旋真空泵及其使用方法，其中，最上游的所述真空泵未安装所述排气阀组件，最下游的所述真空泵安装有所述排气阀组件。

一种多级浮动涡旋真空泵及其使用方法，使用相连通的多个真空泵，通过所述气管从最上游的真空泵的进气口中抽气，从最下游的真空泵的排气口中排气，以提高真空度。

本发明由于采用了上述技术，使之与现有技术相比具有的积极效果是：