[发明专利]表面处理湿制程中硝酸的循环利用方法

权利要求书

1.一种表面处理湿制程中硝酸的循环利用方法，是用以分离表面处理湿制程中处理液所包含的水、硝酸、硫酸以及金属杂质，并循环利用该硝酸，其特征在于，所述的表面处理湿制程中硝酸的循环利用方法包括如下步骤：

收集处理，将该处理液收集于一收集储存槽中，以形成储存液；

过滤处理，接收储存液，并利用纳米级过滤膜过滤分离储存液中任何的硝酸盐或硫酸盐而形成的穿透过该纳米级过滤膜的过滤液以及未穿透过该纳米级过滤膜的浓缩液，其中过滤液不含硝酸盐或硫酸盐，且过滤液被回送至收集储存槽，而浓缩液含有硝酸盐或硫酸盐；

蒸馏处理，利用一蒸馏器在加热至一蒸馏温度下将该浓缩液中较低沸点的硝酸及部分的水形成硝酸混合蒸气，并留下由该金属杂质及较高沸点的硫酸所形成的高沸点溶液；

冷凝处理，将该硝酸混合蒸气冷却而形成硝酸溶液，并将该硝酸溶液回送至该收集储存槽；以及

电沉积处理，利用电力将该高沸点溶液中的金属杂质还原成固态金属而析出，并留下硫酸溶液，且留下的该硫酸溶液进一步回送至该蒸馏器。

2.根据权利要求1所述的表面处理湿制程中硝酸的循环利用方法，其特征在于，所述的金属杂质至少包括镍、铜、钴及钕中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的表面处理湿制程中硝酸的循环利用方法，其特征在于，所述的纳米级过滤膜是由聚伦氟乙烯(Polyvinylidene Fluoride， PVDF)构成，且该纳米级过滤膜具有多个纳米级孔洞，而该纳米级孔洞的有效孔径大小为12至25纳米。

4.根据权利要求1所述的表面处理湿制程中硝酸的循环利用方法，其特征在于，所述的该过滤液及浓缩液的体积比为5：100至15：100。

5.根据权利要求1所述的表面处理湿制程中硝酸的循环利用方法，其特征在于，所述的蒸馏温度为115℃至125℃之间。

6.根据权利要求1所述的表面处理湿制程中硝酸的循环利用方法，其特征在于，所述的处理液进一步包括柠檬酸，且该柠檬酸系经该浓缩液及该高沸点溶液，而在该电沉积处理后与该硫酸溶液一起循环。