[发明专利]一种大型光学零件离子束抛光机

权利要求书

1.一种大型光学零件离子束抛光机，其特征在于：包括真空抛光系统（4）、承载装置（3）、用于运输完成测量后的大口径工件（6）、并在运输过程中使大口径工件（6）的待加工面保持向下的翻转装置（1）以及用于承接翻转装置（1）所输送的大口径工件（6）、并将大口径工件（6）送至真空抛光系统（4）的主真空室（401）内的输送装置（2），所述承载装置（3）包括导轨（302）以及设于主真空室（401）内、并用于承接输送装置（2）所输送的大口径工件（6）的内机架（301），所述输送装置（2）设于导轨（302）上，并沿所述导轨（302）运动。

2.根据权利要求1所述的大型光学零件离子束抛光机，其特征在于：所述翻转装置（1）包括翻转机架（101）、支承滚轮（102）和夹紧盘（103），所述支承滚轮（102）装设于所述翻转机架（101）底部，所述夹紧盘（103）可转动的装设于所述翻转机架（101）上，所述夹紧盘（103）上设有多个用于夹持光学零件夹具（5）的夹紧块（104）。

3.根据权利要求2所述的大型光学零件离子束抛光机，其特征在于：所述输送装置（2）包括输送车架（201）和车轮（202），所述车轮（202）装设于所述输送车架（201）的底部，并沿所述导轨（302）设置，所述输送车架（201）上设有可作竖直升降的升降平台（203）。

4.根据权利要求3所述的大型光学零件离子束抛光机，其特征在于：所述输送装置（2）还包括行进驱动电机（204）、电机座（205）、减速器（206）、驱动齿轮（207）以及沿所述导轨（302）设置的齿条（211），所述行进驱动电机（204）通过电机座（205）固定于所述输送车架（201）上，所述行进驱动电机（204）的输出端经减速器（206）与驱动齿轮（207）连接，所述驱动齿轮（207）与所述齿条（211）啮合。

5.根据权利要求3所述的大型光学零件离子束抛光机，其特征在于：所述输送装置（2）还包括升降电动推杆（208）、升降导轨（209）和升降滑块（210），所述升降滑块（210）固定于所述升降平台（203）上，所述升降导轨（209）和升降电动推杆（208）装设于输送车架（201）上，所述升降滑块（210）滑设于升降导轨（209）中，所述升降电动推杆（208）的输出端与升降平台（203）连接。

6.根据权利要求1所述的大型光学零件离子束抛光机，其特征在于：所述承载装置（3）还包括外机架（303），所述导轨（302）均由内导轨（3021）、外导轨（3022）和对接导轨（3023）组成，所述内导轨（3021）设于主真空室（401）内，并固定于内机架（301）上，所述外导轨（3022）固定于外机架（303）上，所述对接导轨（3023）一端与外导轨（3022）铰接，另一端与内导轨（3021）搭接。

7.根据权利要求6所述的大型光学零件离子束抛光机，其特征在于：所述内机架（301）上装设有用于承接大口径工件（6）的定位钩（304）和承载钩（305），所述外机架（303）上装设有用于对翻转装置（1）定位的定位销（306）。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的大型光学零件离子束抛光机，其特征在于：所述真空抛光系统（4）还包括副真空室（402）和插板阀（403），所述副真空室（402）与所述主真空室（401）连接，所述插板阀（403）设于主真空室（401）与副真空室（402）之间，并控制二者通断。

9.根据权利要求8所述的大型光学零件离子束抛光机，其特征在于：所述真空抛光系统（4）还包括辅助导轨（404）和用于运送中小口径工件（7）的辅助小车（405），所述辅助导轨（404）辅设于主真空室（401）与副真空室（402）内，所述辅助小车（405）滑设于所述辅助导轨（404）上。

10.根据权利要求9所述的大型光学零件离子束抛光机，其特征在于：所述真空抛光系统（4）还包括主真空门（406）、门控小车（407）、门控气阀（408）和门架（409），所述门架（409）设于主真空室（401）的开口处，所述门控小车（407）装设于门架（409）上并可在主真空室（401）开口的上方横向移动，所述主真空门（406）悬挂于所述门控小车（407）上，所述门控气阀（408）设于主真空室（401）开口处的周边并用于压紧关闭主真空门（406）。