[发明专利]双三角型多通道中波红外干涉检测装置

权利要求书

1.一种双三角型多通道中波红外干涉检测装置，包括4.4μm半导体激光器[1]、第一反射镜[2]、第二反射镜[3]、扩束镜[4]、第一分光镜[5]、第二分光镜[6]、离轴抛物面反射镜[7]、光阑[8]、成像透镜[9]、中波红外探测器[10]、第一折转反射镜[11]、毛玻璃屏[12]、第二折转反射镜[13]、对点成像透镜[14]、切换反射镜[15]、参考镜[16]、待测件[17]依次顺序构成，其特征在于：第二反射镜[3]、扩束镜[4]、第一分光镜[5]、第二分光镜[6]构成内三角；第一折转反射镜[11]、毛玻璃屏[12]、第二折转反射镜[13]与切换反射镜[15]构成了外三角；由4.4μm半导体激光器 [1]发出的中波红外激光依次经过第一反射镜[2]和第二反射镜[3]反射，入射至扩束镜[4]，扩束镜[4]将入射平行光会聚，会聚光束经过会聚焦点以后变为发散的球面波，球面波依次经过第一分光镜[5]和第二分光镜[6]反射至离轴抛物面反射镜[7]，该离轴抛物面反射镜[7]的焦点与扩束镜[4]的焦点重合，发散球面波经离轴抛物面反射镜[7]反射后变成准直的平行光束，该平行光束经过标准镜[16]和被测件[17]后返回，再经过离轴抛物面反射镜[7]反射变为会聚的球面波，会聚球面波的一部分经第二分光镜[6]的前表面反射，依次透射经过第一分光镜[5]、光阑[8]和成像透镜[9]，最终被中波红外探测器[10]采集形成测试成像光路；会聚球面波的另一部分经第二分光镜[6]透射，经第一折转反射镜[11]折转光路，透射通过毛玻璃屏[12]衰减部分光强，再经第二折转反射镜[13]和对点成像透镜[14]由切换反射镜[15]入射至成像透镜[9]，最终被同一个中波红外探测器[10]采集形成对点成像光路；上述过程中，由电移台控制移入和移出切换反射镜[15]可以在对点调试光路和干涉图成像光路之间进行转换；标准镜[16]和被测件[17]之间形成干涉腔，标准镜[16]装夹在二维调整架上, 被测件[17]装夹在五维调整架上。

2.根据权利要求1所述的双三角型多通道中波红外干涉检测装置，其特征在于：第一折转反射镜[11]的法线方向与入射激光束主光线的夹角为23°±5°。

3.根据权利要求1所述的双三角型多通道中波红外干涉检测装置，其特征在于：主光线沿毛玻璃屏[12]的法线方向入射。

4.根据权利要求1所述的双三角型多通道中波红外干涉检测装置，其特征在于：第二折转反射镜[13]的法线方向与入射激光束主光线的夹角为31.46°±5°。

5.根据权利要求1所述的双三角型多通道中波红外干涉检测装置，其特征在于：主光线沿对点成像透镜[14]的法线方向入射。

6.根据权利要求1所述的双三角型多通道中波红外干涉检测装置，其特征在于：切换反射镜[15]的法线方向与入射激光的夹角为41.46°±2.5°。

7.根据权利要求1所述的双三角型多通道中波红外干涉检测装置，其特征在于：对成像透镜进行了消色差的优化设计，更换出射激光波长为3.39μm、10.6μm的激光器与相应可探测以上波长的探测器，仪器仍然能够正常工作。

8.根据权利要求1所述的双三角型多通道中波红外干涉检测装置，其特征在于：光阑[8]位于会聚球面波的焦点位置。

9.根据权利要求1所述的双三角型多通道中波红外干涉检测装置，其特征在于：扩束镜[4]的焦点与离轴抛物面反射镜[7]的焦点重合。

10.根据权利要求1所述的双三角型多通道中波红外干涉检测装置，其特征在于：毛玻璃屏 [12]上十字叉丝的交点与入射会聚光焦点重合。