[发明专利]闸门装置

说明书

本申请是申请号为200580018714.4、发明名称为“闸门装置”的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种闸门装置。

背景技术

在真空腔的隔离阀中，尤其是对于所述的用于涂覆基质的直列式设备在相对于所述接受器密封隔离阀舌门时经常出现问题。对于具有可回转的隔离阀舌门的隔离阀来说重要的影响因素是变形，尤其是在将所述舌门在隔离阀处于闭锁状态中压向接受器时回转轴和隔离阀舌门的扭曲。由此导致的变形的结果是隔离阀舌门的不均匀的压向包括闸门开口的弹性密封元件的挤压力，这导致了，沿着密封元件的走向不能保证在所有位置上为了可靠的密封所需要的最小挤压力。然而，为了保证一种足够的密封，一种通用的、但是费事的并且成本昂贵的方案在于使用尺寸非常大的构件，通过这些构件可以施加一个足够高的转矩和一个相应的压紧力。

由DE-OS 394 502已知一种具有一个负压腔和一个设置在负压腔两侧的隔离阀的装置。该阀板具有一种长的、平行六面体的形状，其中所述阀板与相应的三个轴承体固定连接。在所述轴承体中穿过一个轴，所述轴本身与摇杆连接并且可被一个具有电机的齿条传动机构回转。所述阀板相对于围绕位置固定的轴承可运动的杠杆可倾翻地保持住，使得阀板的密封面可压向在负压腔的壳体上的密封面。但是已经表明，利用该已知的隔离阀不能达到对于密封性的最高要求，因为所需要的密封环在闭锁状态非常不均匀地受到负荷并且密封板或者说驱动轴在闭锁状态以非常大的程度弯曲。这个问题特别是当阀板具有一个过度的长宽比时出现，如其典型地在用于平坦的大面积基质的直列式设备中所需要的那样。

此外，由DE 4203 473 A1已知一种用于将基质一方面引入相邻的处理腔和/或从大气腔引入较小压力的腔中的转动闸门，所述转动闸门具有一个门状的、保持在一个位置固定的轴承中的阀板和一个与该阀板作用连接的关闭电机并且具有一个包括该闸门开口的框形的密封元件。所述阀板在一个大致平行于该阀板延伸的阀门条中通过至少一个可弹性变形的中间构件铰接，其中所述阀门条本身具有两个相互在直径方向上对置的主轴颈，该主轴颈不可转动地与设置在所述腔外的驱动电机耦联。所述阀门条是不易弯曲的型材。这种闸门的缺点是复杂的结构以及颗粒污物在排出时由于阀板的扭曲带来的困难。

由US 5379 984中已知一种具有一个阀体的隔离阀，一个长的并且窄的缝隙通过该阀体延伸。在所述缝隙的开口侧设置一个阀板，该阀板向着窄的密封接触面逐渐变细。设有一个可运动的密封元件来将一个展开的软管作为密封的膜片铺在所述接触面上。因为所述密封元件铰接在一个回转轴上，在该已知的阀门装置中困难的是保证沿着开口走向统一的压力。从而该隔离阀要经受在真空和大气压力之间的压力差，此时设置所述阀门，将大气压力借助于关闭力沿着阀舌门的闭合方向作用。

由US 6263542 B1已知一种用于真空腔的、具有一个回转支架的舌门装置。所述舌门体通过一个结构复杂的柔性的、例如弹性的连接件与所述回转支架脱耦。从而避免了密封件的不均匀的、导致泄漏的压力。

发明内容

本发明的任务是提供一种开头所述类型的闸门装置，借助于该闸门装置可以实现设置在壁体中的闸门开口简单且可靠的密封。

按照本发明，本发明的任务的技术解决方案在于：一种闸门装置，其用于在一个第一接受器和一个第二接受器之间的壁中设置的闸门开口，所述闸门装置具有一个设置在第一接受器的内腔中的可回转的舌门和一个配属于该可回转的舌门的配对板，其中，在配对板的一个区域中设置一个第一磁体机构，并且在一个可回转的舌门的区域中设置一个配属于第一磁体机构的第二磁体机构，为了借助于所述第一和第二磁体机构来关闭和/或打开闸门开口，在可回转的舌门和配对板之间可以产生一个正的和负的挤压力，所述磁体机构沿着闸门开口的走向设置，使得所述舌门在闸门开口的闭锁状态中是无扭转的。