[发明专利]直拉法单晶炉热场中的石墨件的清洗方法

权利要求书

1.一种直拉法单晶炉热场中的石墨件的清洗方法，其特征在于，按照以下步骤实施：

步骤1、安装石墨件

将直拉单晶使用后带有碳化硅腐蚀层的石墨件装入高温感应炉中，然后密封合盖；

步骤2、分别开启高温感应炉的炉体冷却水循环系统和电源冷却水循环系统

控制参数为，全程炉体冷却循环水：20-25M³/h，全程电源冷却循环水：76-82M³/h；

步骤3、抽真空

将高温感应炉内由常压抽真空，炉内压力到20-100Pa时开始加热高温感应炉；

步骤4、加热

4.1）预热：高温感应炉中小于100Pa时，在100KW功率下预热10-15min；

4.2）升温：高温感应炉在200KW功率下加热20min，继续在400KW功率下加热20min，最后以600-650KW的功率加热；

4.3）当高温感应炉内温度达到1000℃时恒温1h，恒温时高温感应炉的加热功率为200KW；

4.4）恒温完成后，调节加热功率为300-400KW，将高温感应炉内升温到1500℃；

4.5）高温感应炉内温度达到1500℃时恒温1h，恒温时加热功率为230-240KW；

4.6）再调节加热功率为600KW，使高温感应炉内升温到2000℃；

4.7）高温感应炉内温度达到2000℃时恒温1h，恒温时加热功率为300KW；

4.8）调节高温感应炉功率为600-650KW，将高温感应炉内升温到2400℃；

4.9）高温感应炉内温度达到2400℃时，恒温2-6h，恒温时加热功率为430-450KW，真空度稳定不变且小于100Pa时停止加热；

步骤5、冷却

冷却时保证高温感应炉炉体通冷却水，同时高温感应炉中通氮气作为保护气体，进行降温冷却；用130-140h，将高温感应炉内温度从2400℃均匀降温到80-100℃的出炉温度；

步骤6、石墨件出炉。

2.根据权利要求1所述的直拉法单晶炉热场中的石墨件的清洗方法，其特征在于：所述的步骤2中，在1000℃之前升温过程中，按照每小时100℃的升温幅度进行；在1000-2000℃升温过程中，按照每小时50℃的升温幅度进行；在2000-2400℃升温过程中，按照每小时30℃的升温幅度进行。