[发明专利]一种铜镓/铜铟镓管状阴极靶材的成型方法

权利要求书

1.一种铜镓/铜铟镓管状阴极靶材的成型方法，其特征在于包括以下步骤：

1）将铜块、铟块置于坩埚中，将镓置于合金加料仓；

2）装料完成后，关闭炉门，开启真空泵机组，当炉内真空度小于10Pa时，开始加热，进入熔炼期，熔炼期真空度在1Pa以下，熔炼温度为800℃~1150℃，待料熔化至约占全部料的2/3时，开始通电烘模，烘模温度为200~400℃，烘模约半小时左右。

2.3）熔炼期完成后，进入精炼期，精炼温度为850℃~1200℃,精炼时间为10 ~20min，精炼10~20min后，降温至720℃~1050℃、结膜，加入原料镓，进行电磁搅拌3~5min；

4）搅拌完成后进行浇注，浇注温度为820℃~1200℃，采用底浇注，浇注于管状模具中；

5）浇注完成后进行冷却，冷却至室温后出炉，拆卸模具，得到铜镓/铜铟镓合金管状坯料；

6）根据产品形状及尺寸要求，对成型后的管坯机加工，得到最终尺寸的管状靶材，对管状靶材进行超声波清洗，待干燥后真空封装，至此，得到能用于光伏材料的铜镓/铜铟镓合金管状阴极靶成品。

3.根据权利要求1所述一种铜镓/铜铟镓管状阴极靶材的成型方法，其特征在于：所述步骤1）中铜块和铟块、镓的纯度均在99.99%以上。

4.根据权利要求1或2所述一种铜镓/铜铟镓管状阴极靶材的成型方法，其特征在于：所述步骤1）中配料比例为按重量百分比铜：铟、镓=50%~90%：10%~50%

根据权利要求3所述一种铜镓/铜铟镓管状阴极靶材的成型方法，其特征在于：所述步骤1）中先在坩埚底部放置铜块，然后再坩埚中上部放置铟块，装料紧密，防止“搭桥”。

5.根据权利要求1所述一种铜镓/铜铟镓管状阴极靶材的成型方法，其特征在于：所述步骤2）中熔炼期真空度为0.01Pa~1 Pa。

6.根据权利要求1所述一种铜镓/铜铟镓管状阴极靶材的成型方法，其特征在于：所述成型方法采用的浇注系统包括真空浇注腔室（1），在真空浇注腔室（1）中设有底浇注管（2），在底浇注管（2）的内侧设有冷却水夹层（3），在底浇注管（2）的外侧设有烘模用发热体（4），在冷却水夹层（3）的底部和上部分别设有进水口（5）和出水口（6）。

7.根据权利要求6所述一种铜镓/铜铟镓管状阴极靶材的成型方法，其特征在于：所述冷却水的流量为1L/s~5L/s，采用直接通水或其它冷却剂激冷，铸管壁强制冷却，通水急速冷却至合金溶液结晶后，打开炉盖，同时继续通水，冷却至室温。