[发明专利]一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工方法及装置

权利要求书

1.一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工方法，其特征在于：首先用低于太阳能晶圆材料加工阈值的照射激光束照射太阳能晶圆上的待加工区域，该区域吸收了光子能量，材料温度显著提高，同时产生大量载流子，然后用加工激光束照射太阳能晶圆上的相同区域，加工激光束的能量高于太阳能晶圆材料加工阈值，用于进行对晶圆材料的加工。

2.根据权利要求1所述的一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工方法，其特征在于：所述的照射激光束为脉冲激光束或连续激光束；所述的加工激光束为脉冲激光束。

3.根据权利要求1所述的一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工方法，其特征在于：所述的照射激光束和加工激光束分别由两台激光器发射产生或由一台激光器经分光后产生。

4.一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工装置，其特征在于：它包括有照射激光器、加工激光器、相对于加工激光器输出端后的光束扩散装置、相对光束扩散装置输出端后和照射激光器输出端后的光学合束镜、设置于光学合束镜后的激光扫描器和相对激光扫描器照射端的载物台。

5.根据权利4所述的一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工装置，其特征在于：所述的照射激光器、加工激光器选用同一激光器，相对同一激光器输出端后设置有可调分光装置，可调分光装置的一输出端后设置有光学延迟装置，所述的光束扩散装置相对设置于光学延迟装置的一输出端后，所述的光学合束镜相对设置于光束扩散装置输出端和可调分光装置的另一输出端后。

6.根据权利4所述的一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工装置，其特征在于：所述的光束扩散装置和光学合束镜之间、光学合束镜和激光扫描器之间均设置有激光反射镜。

7.根据权利4所述的一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工装置，其特征在于：所述的激光扫描器和载物台之间设置有透镜；所述的载物台上设置有真空吸附装置。

8.根据权利5所述的一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工装置，其特征在于：所述的可调分光装置是由顺次设置的光学偏振旋转器件和光学分束器组成。

9.根据权利5所述的一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工装置，其特征在于：所述的分光装置透射输出端和光学合束镜之间、光学合束镜和激光扫描器之间均设置有激光反射镜。

10.根据权利7所述的一种使用双激光光束的太阳能晶圆精密加工装置，其特征在于：所述的真空吸附装置选用真空管，所述的载物台的上端面上设置有与真空管连通的定位孔。