[发明专利]一种光学检测装置与光学检测方法

说明书

技术领域

本发明是关于一种光学检测装置与光学检测方法，且特别是关于一种用于检测LED晶圆的光学检测装置与光学检测方法。

背景技术

近年来，发光二极管(light emitting diode，以下简称LED)的发光效率有非常显著地进步。囚此，LED的应用领域也愈来愈广泛，从早期的交通号志，到近期的液晶电视用的背光模块。而且，也有愈来愈多的照明装置改用LED作为光源，而非采用灯泡或荧光灯管。

目前，LED的制程已渐趋成熟，其所制造出来的的良率也愈来愈高。然而，为了保证终端产品的质量，仍需对LED晶圆中的各LED晶粒进行检测，并将不合格的LED晶粒从中剔除之后，才能进行后续的制程。对于LED晶粒来说，光学检测是必须经过的程序，主要是检测LED晶粒的峰值波长(peak length)、发光强度(luminous intensity)、光通量(luminous flux)、与色温(color temperature)等，此外还包括检测LED晶粒是否有外观不良、LED晶粒排列的间隙是否有差异等问题。

在检测的过程中，待检测的LED晶圆是以一片接一片的方式依序进行检测。经过检测后，LED晶圆中不良的LED晶粒会被标示出来，并于之后的流程中被晶粒分选机所挑除。然而，以一片接一片的方式进行检测却有效率较低的问题。囚此，如何进一步提高LED晶圆的光学检测效率，是值得本领域技术人员去思量地。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种光学检测装置与光学检测方法，借由此光学检测装置与光学检测方法可提高被检测对象的光学检测效率。

基于上述目的与其他目的，本发明提供一种光学检测装置。此光学检测装置包括一加载器、一缓冲台、多个检测台、与一机械手臂，加载器包括一储存柜与一取放台，该储存柜储存有多个待检测的被检测物件。其中，加载器可将储存柜中的被检测对象加载至取放台或将取放台上的被检测对象加载至储存柜中。机械手臂用以使被检测对象于取放台、缓冲台、与各检测台之间移动。此外，上述的被检测对象例如为LED晶圆。

在上述的光学检测装置中，机械手臂是藉由一枢轴而枢接在光学检测装置上。而且，取放台、缓冲台、与所述检测台例如是环绕着枢轴。

在上述的光学检测装置中，取放台、缓冲台、与多个检测台的至少其中之一是可于垂直方向上进行升降。而且，所述的检测台于水平上的位置是可被调整地。

在上述的光学检测装置中，机械手臂可于垂直方向上进行升降。

基于上述目的与其他目的，本发明提供一种光学检测方法，其是利用一光学检测装置来检测多个被检测物件。光学检测装置包括一加载器、一缓冲台、多个检测台、与一机械手臂。所述的被检测对象于检测前是储存于加载器的一储存柜中，所述的光学检测方法包括以下步骤：

将所述的被检测对象从储存柜中传送至取放台，再从取放台传送到所述的检测台进行检测，直到每一检测台皆放置有被检测对象；

当所有检测台皆在进行检测时，将另一待检测的被检测对象从储存柜中传送至取放台上后，再传送至缓冲台上放置；

当其中一被检测对象检测完毕后，将检测完毕的被检测对象传送至取放台，并将缓冲台上的被检测对象传送至具有空缺的检测台上进行检测；以及

将位于取放台上的被检测对象传送至储存柜中。

在上述的步骤中，当所述检测台皆在进行检测时，其他待测的被检测对象是先移剑缓冲台上，待其中一检测完毕的检测对象移回到取放台后，再将缓冲台上的被检测对象移动至具有空缺的检测台上。然而，也可以先将检测完毕的被检测对象移剑缓冲台，再将待测的被检测对象移动至具有空缺的检测台上，最后再将缓冲台上的被检测对象移回至取放台上。

在上述的光学检测方法中，被检测对象例如为LED晶圆。

具体而言，本发明提供了一种光学检测装置，包括：

一加载器，该加载器包括一储存柜与一取放台，其特征在于，该储存柜储存有多个被检测对象；

一缓冲台；

多个检测台，所述的检测台是用以检测所述的被检测对象；及

一机械手臂；

其中，该加载器可将该储存柜中的被检测对象加载至该取放台或将该取放台上的被检测对象加载至该储存柜中，该机械手臂用以使该被检测对象于该取放台、该缓冲台、与各检测台之间移动。

优选的是，所述的光学检测装置，所述被检测对象为LED晶圆。

优选的是，所述的光学检测装置，所述机械手臂是藉由一枢轴而枢接在该光学检测装置上。