[发明专利]板料刻痕特征无损高精密测量装置

权利要求书

1.一种板料刻痕特征无损高精密测量装置，其特征在于，包括：支架、二维滑台、第一传感器、转台组件、单向滑台、滑块、导轨、第二感器、锁扣和托架，所述第一传感器通过所述二维滑台连接至所述支架侧面框架上；所述导轨与所述支架的底面框架连接，所述单向滑台通过所述滑块和锁扣与所述导轨连接，所述转台组件与所述单向滑台连接；所述第二传感器通过所述托架与所述支架连接，且设置在所述单向滑台下方。

2.如权利要求1所述的板料刻痕特征无损高精密测量装置，其特征在于，所述转台组件进一步包括：转台、手柄和螺杆，所述转台连接至所述单向滑台，所述螺杆一端与所述转动手柄连接，另一端通过齿轮结构与转台连接。

3.如权利要求2所述的板料刻痕特征无损高精密测量装置，其特征在于，所述转台上设置有放射形光栅。

4.权利要求1所述的板料刻痕特征无损高精密测量装置，其特征在于，所述滑台中部为空心结构，用以放置所述转台。

5.权利要求1所述的板料刻痕特征无损高精密测量装置，其特征在于，所述第一传感器为二维激光位移传感器，用以实现对阀门膜片刻痕形态和残余厚度的测量。

6.权利要求1所述的板料刻痕特征无损高精密测量装置，其特征在于，所述第二传感器为单点激光位移传感器，用以实现对阀门膜片不同截面的自动测量。