[发明专利]一种高灵敏度的CoFeB基磁隧道结

权利要求书

1.一种CoFeB基磁隧道结，其结构依次包括：基片、过渡层、磁性电极层、绝缘层、磁性电极层、保护层，所述磁性电极层为CoFeB层；其特征在于：所述过渡层为钨层。

2.根据权利要求1所述的CoFeB基磁隧道结，其特征在于：所述CoFeB基磁隧道结的结构依次包括：基片、钨层、CoFeB层、MgO或Al₂O₃层、CoFeB层、Ta层。

3.根据权利要求1或2所述的CoFeB基磁隧道结，其特征在于：所述钨层的厚度为3-15nm。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的CoFeB基磁隧道结，其特征在于：所述CoFeB层的厚度为5-20nm。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的CoFeB基磁隧道结，其特征在于：所述CoFeB层中三种元素的质量含量分别为：Co 20%-70%，Fe 20%-70%，B 10%-20%。

6.根据权利要求2-5中任一项所述的CoFeB基磁隧道结，其特征在于：所述MgO或Al₂O₃层的厚度为1-3nm。

7.根据权利要求2-6中任一项所述的CoFeB基磁隧道结，其特征在于：所述MgO为具有（001）织构的MgO；所述Al₂O₃为非晶Al₂O₃。

8.根据权利要求2-7中任一项所述的CoFeB基磁隧道结，其特征在于：所述Ta层的厚度为1-5nm。