[发明专利]用于空间活动部件的耐盐雾腐蚀自润滑薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种用于空间活动部件的耐盐雾腐蚀自润滑薄膜，其特征在于，包括阻挡层和耐腐蚀润滑层，空间活动部件的金属润滑面上依次采用离子注入与沉积工艺制备氮化钛膜作为阻挡层，采用离子注入与磁控溅射复合工艺制备二硫化钼/镍铬合金复合膜作为耐腐蚀润滑层；

阻挡层的膜厚为0.5um～10um；

耐腐蚀润滑层的膜厚为0.5um～10um；

空间活动部件的材质为如下任一种金属或任多种金属组成的合金：

-铝；

-钛；

-镁；

-不锈钢。

2.一种权利要求1所述的用于空间活动部件的耐盐雾腐蚀自润滑薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤(1)：制备阻挡层，具体地，将空间活动部件固定在多功能离子注入与磁控溅射设备真空室中的转台上，开启真空获得设备，当真空室内本底真空达到1×10^-3Pa～5×10^-3Pa时，充入氮气至工作气压为3×10^-1Pa～9×10^-1Pa；待气压稳定后依次开启高压电源和钛阴极的金属源电源，在金属润滑面上制备得到膜厚为0.5um～10um的阻挡层；

步骤(2)：制备耐腐蚀润滑层，具体地，重新开启真空获得设备，当本底真空达到1×10^-3Pa～5×10^-3Pa时，向真空室内充入氩气至工作气压为5×10^-1Pa～0Pa；待气压稳定后依次开启高压电源、镍铬合金阴极的金属源电源和二硫化钼靶的射频电源，在阻挡层上制备得到膜厚为0.5um～10um的耐腐蚀润滑层；

高压电源的电压为100V～20KV；

在金属润滑面上制备膜厚为0.5um～10um的阻挡层；

在阻挡层上制备膜厚为0.5um～10um的耐腐蚀润滑层；

空间活动部件的材质为如下任一种金属或任多种金属组成的合金：

-铝；

-钛；

-镁；

-不锈钢。