[发明专利]驱动器浮动的三维无耦合微位移工作台

权利要求书

1.驱动器浮动的三维无耦合微位移工作台，包括基板（1）、Z向下框（2）、Z向上框（3）、内工作台（4）、工作台（5）、驱动单元（6）、支撑杆（7）、驱动支链（8）、Z向支撑单元（9）、电致伸缩器件（10），其特征在于：所述基板（1）中部设有贯通的空腔，所述空腔中部设置内工作台（4），所述内工作台（4）沿X、Y方向对称分布有四个内工作台凸缘（13）；

所述Z向下框（2）、Z向上框（3）为截面呈正方形的C形杆状，分别垂直连接着基板（1）的上表面和下表面中部；

所述工作台（5）设置在内工作台（4）的正上方，并通过四根均布的支撑杆（7）跨过Z向上框（3）连接着内工作台（4）上表面；

所述驱动支链（8）用于连接着基板（1）与内工作台（4），驱动支链（8）一端两侧边缘对称位置分别设有驱动侧板（16），驱动支链（8）设有驱动侧板的一端通过两根平面柔性铰链杆（12）与工作台凸缘（13）连接，另一端通过两根空间柔性铰链杆（11）与基板（1）连接，所述驱动支链（8）共有两个，分别设置于基板（1）空腔X-方向、Y-方向的中部；

所述驱动单元（6）一端两侧对称设有连接板（14），并在设有连接板一端的中部开设了用于放置电致伸缩器件（10）的凹槽（15），所述驱动单元（6）共三个，分别位于基板（1）空腔X+方向、Y+方向的中部以及内工作台（4）与Z向下框（2）之间的Z-方向，其中X+方向、Y+方向的驱动单元（6）通过两根平面柔性铰链杆（12）与工作台凸缘（13）连接，另一端通过两根空间柔性铰链杆（11）与基板（1）连接，Z-方向的驱动单元（6）一端通过两根空间柔性铰链杆（11）与Z向下框（2）连接，另一端通过两根平面柔性铰链杆（12）与驱动支座（17）连接；所述驱动支座（17）用于连接Z-方向的驱动单元（6）与内工作台（4），内工作台（4）上表面对称位置设置了另一个驱动支座（17）用于连接Z向支撑单元（9）与内工作台（4）；所述Z向支撑单元（9）一端通过两根平面柔性铰链杆（12）与驱动支座（17）相连，另一端通过两根空间柔性铰链杆（11）与Z向上框（3）连接；

所述电致伸缩器件（10）置于所述凹槽（15）中部，其中：X+方向、Y+方向的电致伸缩器件（10）一端顶紧凹槽（15）的侧壁，另一端顶在内工作台凸缘（13）上，Z-方向的电致伸缩器件（10）一端顶紧凹槽（15）的侧壁，另一端顶在驱动支座（17）上。

2.根据权利要求1所述的驱动器浮动的三维无耦合微位移工作台，其特征在于：所述内工作台（4）为正方形板状，每个内工作台凸缘（13）两侧面对称位置分别连接着平面柔性铰链杆（12）的一端，上表面和下底面的中部分别与驱动支座（17）另一端连接。

3.根据权利要求1所述的驱动器浮动的三维无耦合微位移工作台，其特征在于：所述工作台（5）为正方形板状且与内工作台（4）大小相同，工作台（5）通过与其下底面垂直的四根均布的正方形柱状支撑杆（7）连接着内工作台（4）上表面。

4.根据权利要求1所述的驱动器浮动的三维无耦合微位移工作台，其特征在于：所述电致伸缩器件（10）为Thorlabs公司生产的20μm行程PAS005 、PAS020驱动器或者40μm行程PAS009、PAS040驱动器。