[发明专利]变频加湿系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种变频加湿系统，尤其涉及使用于无尘室的一种变频加湿系统。

背景技术

无尘室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业，例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、医院等行业等，其中以半导体业其对室内的温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内，才不会对制程产生影响。

一般无尘室控制湿度的方式是通过高压细水雾(hi-fog)装置的喷洒来控制无尘室内的湿度。当无尘室内的湿度太低时，高压细水雾装置便会开始喷洒，以提高无尘室内的湿度，而当无尘室内湿度过高时，高压细水雾装置则停止喷洒。然而，目前使用在无尘室内的高压细水雾装置在使用的过程中只会以单一的频率进行运转，而主要的控制仅能依靠开关控制阀(ON/OFF)不断开启与关闭，导致无尘室内湿度忽高忽低，无法持续达到稳定值。而且，开关控制阀忽开忽关的动作，容易发生水锤现象(water hammer)，导致管路震动频繁，严重的震动甚至会发生管路断裂漏水、爆管水损，造成温湿度失控及机台损失。而如何针对上述问题进行解决，实为此技术领域所关注的重点之一。

发明内容

本发明的目的之一就是在于提供一种变频加湿系统，用以使室内湿度曲线趋于缓和，且避免管路中产生水锤现象而导致管路被破坏。

为了达到上述优点，本发明提出一种变频加湿系统，包括主体管路、至少一个泵浦、至少一个变频器、至少一个湿度传感器以及控制电路。主体管路包括液体输入端与至少一个液体输出端，液体输入端连接至液体供应源。至少一个泵浦设置于主体管路，用以将液体供应源中的液体自液体输入端引导至液体输出端。至少一个变频器电性连接于泵浦，用以调整泵浦的运转频率，使泵浦控制液体在主体管路中流动的流量。至少一个湿度传感器用以感测环境湿度。控制电路电性连接于湿度传感器与变频器，并根据湿度传感器所感测到的环境湿度的变化量来控制变频器调整泵浦的运转频率，进而改变液体在主体管路的流量。

在本发明的一个实施例中，上述变频加湿系统，更包括：至少一个控制阀，设置于主体管路并电性连接于控制电路，且控制阀位于泵浦与液体输出端之间，控制电路在湿度传感器所感测到的环境湿度达到第一湿度门槛值时，控制控制阀进入开启状态，控制电路在湿度传感器所感测到的环境湿度达到第二湿度门槛值时，控制控制阀进入关闭状态，当控制阀处于开启状态时，则液体经由液体输出端输出，当控制阀处于关闭状态则液体无法经由液体输出端输出，其中第二湿度门槛值大于第一湿度门槛值；以及泄压管路，其一端连接于主体管路并位于泵浦与控制阀之间，而泄压管路的另一端连接于液体供应源，泄压管路具有泄压阀，泄压阀在主体管路的液压达到液压门槛值时开启，使得主体管路中部分液体经由泄压管路回流至液体供应源。

在本发明的一个实施例中，上述泄压管路更具有逆止阀，用以防止经泄压管路回流至液体供应源的部分液体逆流至主体管路。

在本发明的一个实施例中，上述湿度传感器感测的环境湿度为室外湿度。

在本发明的一个实施例中，上述湿度传感器感测的环境湿度为室内湿度。

在本发明的一个实施例中，上述至少一个泵浦与至少一个变频器的数量分别为多个，这些变频器分别电性连接于这些泵浦，且这些泵浦中相邻两泵浦彼此并联。

在本发明的一个实施例中，上述至少一个湿度传感器与至少一个控制阀的数量分别为多个，这些控制阀分别处于不同环境，而这些湿度传感器分别感测对应的这些控制阀的环境湿度，控制电路根据这些湿度传感器中各个湿度传感器所感测的环境湿度是否达到第一湿度门槛值或第二湿度门槛值，进而分别控制这些控制阀在开启状态与关闭状态之间进行切换，而控制电路根据这些湿度传感器所感测的环境湿度的变化量的平均值来控制变频器调整泵浦的运转频率，进而改变液体在主体管路的流量。

在本发明的一个实施例中，上述主体管路的至少一个液体输出端的数量为多个，这些控制阀分别位于这些液体控制端，且这些液体输出端分别具有喷嘴。