[发明专利]一种单镜头激光三角法厚度测量仪

权利要求书

1. 一种单镜头激光三角法厚度测量仪，其特征在于，该测量仪包括第一、第二激光器，成像透镜，图像探测器，光阑，第一、第二平面玻璃，图像处理器，以及显示装置；

第一、第二激光器的轴心线位于成像透镜的物方焦平面处，第一、第二激光器同轴对准，图像探测器位于成像透镜的像方焦平面处，用于接收成像透镜汇聚的光线；光阑位于第一、第二激光器的轴心线与成像透镜之间，第一、第二平面玻璃片位于孔径光阑和成像透镜之间，并相对成像透镜的光轴上下对称，且第一平面玻璃片与成像透镜的光轴之间的夹角，以及第二平面玻璃片与成像透镜的光轴之间的夹角均小于90度，图像处理器与图像探测器连接，用于处理图像探测器提供的数据，显示装置与图像处理器连接，用于显示图像处理器提供的数据。

2.根据权利要求1所述的单镜头激光三角法厚度测量仪，其特征在于，图像探测器的感光面所在平面与成像透镜的光轴垂直。

3.根据权利要求1或2所述的单镜头激光三角法厚度测量仪，其特征在于，成像透镜采用一片正透镜和一片负透镜组成组合透镜的方式。

4.根据权利要求1或2所述的单镜头激光三角法厚度测量仪，其特征在于，测量时，将被测物放置于第一、第二激光器之间，且位于图像探测器的视场内；第一、第二激光器发出的光线聚焦至被测物上、下表面，漫反射的光线分别经过孔径光阑、第一、第二平面玻璃片后由成像透镜汇聚到图像探测器上，形成两个光斑，将两个光斑的图像数据传到图像处理器后，计算两光斑的重心得到两光斑间距值，然后由预先得到的标定方程将间距值转化为被测物厚度值，最后显示在显示装置上。

5.根据权利要求1或2所述的单镜头激光三角法厚度测量仪，其特征在于，成像透镜为非球面透镜。