[发明专利]一种液氮冷头控温装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种控温冷头装置，尤其是一种使用液氮循环作为冷头降温方式的装置。

背景技术

冷头一般是作为低温捕集器用于捕集真空室中的污染，主要放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。所以低温控制是冷头技术的一项关键技术。

目前市面上常见的冷头，大都是传统的氦压缩机搭冷头的结构。而目前大规模使用的国产氦压缩机的性能不是很稳定性，在温控技术上存在一定的风险，而国外进口的氦压缩机价格比较高昂，使用和维护的费用都比较贵，所以从性价比上来看，用氦压缩机来实现冷头的降温功能的可行性越来越小。

所以，目前亟需一种既能够稳定控温，性价比又高的装置。

发明内容

发明目的：针对现有技术的不足，我们经过长期的实践摸索，创造了一种液氮冷头控温装置。

技术方案：为了实现上述发明目的，本发明所采用的技术方案为：一种液氮冷头控温装置，包括冷头、液氮罐、液氮进口和液氮出口，在液氮罐的上端设有隔稳屏蔽层，所述隔稳屏蔽层和液氮罐之间设有一组加热组件。

所述的加热组件为电加热丝，采用温控仪通过PID自动方式控制温度。液氮罐采用双层屏蔽罩，由镜面不锈钢板制作而成。

有益效果：本发明与现有技术相比，其有益效果是：1、使用循环液氮的液位高度来实现温度控制，效果明显且易于操作；2、运用液氮来实现温控的性价比较高，大幅度节约了成本；3、电加热器采用PID方式控制，可控性较高。

附图说明

附图为本发明一种液氮冷头控温装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，通过一个最佳实施例，对本技术方案进行详细说明，但是本发明的保护范围不局限于所述实施例。

如图所示，一种液氮冷头控温装置，包括冷头1、液氮罐6、液氮进口4和液氮出口5，在液氮罐6的上端设有隔稳屏蔽层2，所述隔稳屏蔽层2和液氮罐6之间设有一组加热组件3。

加热组件3为电加热丝，采用温控仪通过PID自动方式控制温度。所述的液氮罐6采用双层屏蔽罩，由镜面不锈钢板制作而成。

实际工作的时候，冷头1固定在液氮罐6上，通过打开液氮阀门的开关，控制低温液氮的液量来达到冷头降温的目的，当冷头1需要升温的时候，则通过加热组件3来实现。