[发明专利]测试装置及对应的测试方法在审
申请号: | 201210122338.5 | 申请日: | 2012-04-24 |
公开(公告)号: | CN102638263A | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 索鑫 | 申请(专利权)人: | 上海宏力半导体制造有限公司 |
主分类号: | H03M1/10 | 分类号: | H03M1/10 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆苏华 |
地址: | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测试 装置 对应 方法 | ||
技术领域
本发明涉及半导体测试领域,特别涉及一种利用存储器测试装置对A/D转换器或D/A转换器进行测试的测试装置及对应的测试方法。
背景技术
随着社会经济的不断发展,技术的不断进步,作为消费电子类产品中重要的一部分——混合信号集成电路发展迅速,功能日趋强大,主要体现在速度不断提升,精度不断提高,10位、12位、16位、20位、24位的数模(D/A)转换器和模数(A/D)转换器层出不穷。技术的快速发展和市场竞争的加剧,电子产品市场寿命相对于开发周期变得越来越短,测试对电子产品的上市时间、开发周期的影响越来越大。因此,混合信号测试在整个混合信号IC产业链中意义重大。
在现有的大规模的半导体生产过程中,广泛使用自动测试设备(ATE)对数模(D/A)转换器和模数(A/D)转换器的集成电路进行量产测试。所述自动测试设备是一套由计算机控制的适用于生产线的测试设备,包括一套高精度测量单元、数据采集系统、波形发生器、示波器、分析仪等电子设备,计算机通过测试程序控制所述电子设备对数模(D/A)转换器和模数(A/D)转换器的集成电路进行测试。
更多关于模数转换器的测试系统及测试方法请参考申请公布号为CN101834605A的中国专利文献。
发明内容
本发明解决的问题是提供一种测试装置及对应的测试方法,可以利用存储器测试装置对A/D转换器、D/A转换器进行测试。
为解决上述问题,本发明实施例提供了一种测试装置,包括:
信号输入装置、存储器测试装置、D/A转换器、A/D转换器、测试单元,所述存储器测试装置包括第一存储器单元和第二存储器单元,所述D/A转换器、A/D转换器其中一个为标准转换器,另一个为待测试转换器;
所述信号输入装置用于产生数字向量,并将所述数字向量存储到存储器测试装置中的第一存储器单元中;
所述存储器测试装置将所述第一存储器单元中的数字向量通过D/A转换器转换为模拟信号,并将所述模拟信号发送给A/D转换器;
所述A/D转换器将所述模拟信号转换成数字信号,并存储在所述存储器测试装置的第二存储器单元中;
所述测试单元对第二存储器单元中的数字信号进行处理测试出待测试转换器的性能参数,将所述待测试转换器的性能参数与标准的测量参数进行比较,判断待测试转换器是否符合技术要求。
可选的,当所述D/A转换器为标准转换器,所述A/D转换器为待测试转换器,所述D/A转换器的精度高于所述A/D转换器的精度。
可选的,当所述A/D转换器为标准转换器,所述D/A转换器为待测试转换器,所述A/D转换器的精度高于所述D/A转换器的精度。
可选的,还包括:位于所述D/A转换器、A/D转换器之间的低通滤波器,将所述D/A转换器转换后的模拟信号进行滤波。
可选的,还包括:位于所述D/A转换器、A/D转换器之间的运算放大电路,提高D/A转换器的增益。
可选的,所述信号输入装置为任意波形产生器,所述任意波形产生器包括信号图形产生模块和直接数字频率合成模块。
可选的,所述信号输入装置还包括信号格式转换模块,用于将直接数字频率合成模块产生的数字信号的格式转换成存储器测试装置内部的数据格式。
可选的,所述存储器测试装置为卡罗斯存储器测试装置。
可选的,所述性能参数包括静态性能参数和动态性能参数,当所述静态性能参数和动态性能参数满足技术要求,表明所述待测试转换器符合技术要求;当所述静态性能参数或动态性能参数不满足技术要求,表明所述待测试转换器不符合技术要求。
可选的,所述动态性能参数包括信号-噪声比,信号-噪声加失真,总谐波失真,以及无杂散动态范围。
可选的,当待测试转换器为12位,所述待测试转换器的信号-噪声比,信号-噪声加失真比的标准的测量参数范围为大于60dB,所述总谐波失真的标准的测量参数范围为小于等于-70dB,所述无杂散动态范围的标准的测量参数范围为大于等于55dB。
可选的,所述静态性能参数包括积分非线性误差、微分非线性误差、失调误差、增益误差。
可选的,当待检测转换器为12位,所述待测试转换器的积分非线性误差、微分非线性误差的标准的测量参数范围为小于等于1LSB,所述增益误差、失调误差的标准的测量参数范围为小于等于2mV。
本发明技术方案还提供了一种采用所述测试装置的测试方法,包括:
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