[发明专利]液体喷射头的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及将液体吐出至被记录介质而进行记录的液体喷射头的制造方法。

背景技术

近年来，利用了将墨滴吐出至记录纸等而描绘字符、图形，或者将液体材料吐出至元件基板的表面而形成功能性薄膜的喷墨方式的液体喷射头。该方式将墨或液体材料从液体罐(tank)经由供给管供给至液体喷射头，并使填充于通道(channel)的墨或液体材料从与通道连通的喷嘴吐出。在墨的吐出时，使液体喷射头、记录所喷射液体的被记录介质移动，从而记录字符、图形或者形成既定形状的功能性薄膜。

作为这种液体喷射头，利用了压电体的厚度滑移模式的方式被实用化。最近研究了这种液体喷射头的长线(long-line)化。一般而言，厚度滑移模式用的压电部件的最大长度是100mm～140mm，难以形成尺寸比其更大的压电部件。因此，考虑连接多个压电部件而谋求液体喷射头的长线化。

在专利文献1中记载有连接压电部件而在印字宽度方向上长尺度化的大型化喷墨打印机。图7表示将专利文献1所记载的尺寸经过放大的压电部件(专利文献1的图6)，图7(a)是平面图，图7(b)是截面图，图7(c)是粘接层部104的放大截面图。通过粘接层部104粘接压电部件101a和压电部件101b。在长尺度化的压电部件101的表面形成槽102和侧壁103。而且以槽102位于粘接层部104之上的方式形成槽102和侧壁103。

图8表示专利文献1所记载的长尺度化的压电部件的其他例子(专利文献1的图2)，如图8(e)的俯视图所示，粘接层部120相对于槽112和侧壁113排列的宽度方向以角度θ1交叉。图8(a)～(d)表示获得图8(e)所示的长尺度化的压电体部的方法。即，如图8(a)所示，使压电部件A1和A2在槽方向错开长度y4而将侧面彼此粘接。接着，如图8(b)所示，将用虚线表示的长尺度化的压电部件A3的周围斜线部切掉。由此，如图8(c)所示，粘接层部120相对于长度方向倾斜角度θ1。以与该长尺度化的压电部件A3的虚线交叉的方式形成多个槽，并沿着中央部的虚线切断。由此，如图8(d)所示，获得遍及从压电部件110a至压电部件110b地形成有槽112和侧壁113的长尺度化的压电部件。

专利文献1：日本特开平9-48132号公报

发明内容

图7所示的压电部件101通过粘接层部104连接压电部件101a和压电部件101b。压电部件101的宽度为200mm～300mm，相对于此，板厚为0.5mm～5mm。因此，极其难以将端面彼此粘接。另外，由于是板厚较薄的端面彼此的粘接，所以粘接层部104的强度较弱，电极形成、电极端子的连接等处理变得极其困难。

另外，图8所示的长尺度化的压电部件A3，由于粘接层部120与构成驱动部的侧壁113相交叉，所以在未形成粘接层部120的侧壁113与形成有粘接层部120的侧壁130之间产生机械特性、电特性的偏差，墨吐出特性的均匀性受损。另外，在粘接层部120的内部易于残留气泡而成为后续墨从该气泡泄漏的原因。本发明鉴于这样的课题而完成，能够提供一种在长尺度化的压电部件不残留粘接面而使压电部件的机械特性、电特性的偏差较少的液体喷射头。

本发明的液体喷射头的制造方法具备：层叠基板形成工序，在由低介电常数材料构成的基底基板之上接合使侧面彼此密合的多个由高介电常数材料构成的压电体基板而形成层叠基板；槽形成工序，在所述层叠基板的上表面形成具有达到所述基底基板的深度并平行于密合的所述侧面的长度方向而并列的多个槽，并且在形成所述槽时除去密合的所述侧面；电极形成工序，在所述槽的侧面形成驱动电极；盖板(cover plate)接合工序，覆盖所述槽地将盖板接合至所述层叠基板；以及喷嘴板接合工序，将喷嘴板接合至所述层叠基板。

另外，在所述层叠基板形成工序之后，具有平坦化工序，使所述压电体基板的表面成为平坦面。

另外，所述电极形成工序包括：图案形成工序，在所述槽形成工序之前，在所述压电体基板的表面形成由树脂膜构成的图案；电极材料沉积工序，在所述槽形成工序之后，在所述层叠基板的上表面沉积电极材料；以及树脂膜除去工序，除去所述树脂膜。

另外，在所述喷嘴板接合工序之后，具有喷嘴形成工序，在所述喷嘴板形成连通至所述槽的喷嘴。

另外，所述电极形成工序在所述压电体基板的表面形成与所述驱动电极电连接的引出电极，具有柔性基板设置工序，在所述电极形成工序之后，将形成有布线电极的柔性基板接合至所述引出电极的上部，将所述引出电极和所述布线电极电连接。