[发明专利]热电转换元件的制造装置及制造方法

权利要求书

1.热电转换元件的制造装置，包括：

坩埚，能够存贮溶化了的热电转换材料；

加热装置，配置在所述坩埚的外周，加热所述坩埚中的热电转换材料；

预加热装置，配置在所述坩埚的上方并具备将所述坩埚的内部与外部连通的通路，而且具有与所述加热装置不同的加热源，对插入所述通路且由耐热性绝缘材料构成的管子进行加热；以及

减压装置，与所述管子的一端连接。

2.如权利要求1所述的热电转换元件的制造装置，还包括：缓冲室，其与所述减压装置以及所述管子的所述一端连接，并且独立于所述减压装置和所述管子而开关自由。

3.如权利要求1或2所述的热电转换元件的制造装置，还包括收纳于所述坩埚的内盖，在所述内盖上具有供所述管子穿通的贯穿孔。

4.如权利要求1至权利要求3中任一项所述的热电转换元件的制造装置，所述加热装置是进行感应加热的感应加热装置，所述预加热装置的所述加热源是进行感应加热以外的加热的加热装置。

5.如权利要求1至权利要求4中任一项所述的热电转换元件的制造装置，还包括腔室，其收纳所述坩埚。

6.热电转换元件的制造方法，包括下述步骤：

对由耐热性绝缘材料构成的管子的一端部进行预加热；

将所述管子的一端导入存贮有溶化了的热电转换材料的坩埚，从所述管子的另一端吸引所述溶化了的热电转换材料，由此将所述热电转换材料填充到所述管子的内部；

将填充到所述管子的热电转换材料固化；以及

将所述管子切断。

7.如权利要求6所述的热电转换元件的制造方法，将调整了减压度的缓冲室与所述管子的另一端连接，从所述管子的另一端吸引所述溶化了的热电转换材料。

8.如权利要求6或7所述的热电转换元件的制造方法，所述热电转换材料是Bi2Te3类材料。

9.如权利要求6至权利要求8中任一项所述的热电转换元件的制造方法，所述管子具有扩大所述管子的内截面面积而形成的缓冲部。