[发明专利]一种多晶硅真空炉用摩擦焊铜电极及其制造工艺

权利要求书

1.一种多晶硅真空炉用摩擦焊铜电极，包括外径为32mm～50mm的铜电极杆，铜法兰，接电板，锁紧螺母，0型密封圈，绝缘保护组件，连接螺栓，其特征在于：铜电极杆至少设置两段，采用摩擦焊连为一体。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅真空炉用摩擦焊铜电极，其特征在于：所述铜电极杆设置成前中后三段，中、后段选用不同外径的两种规格纯铜管摩擦焊连接，前段选用纯铜棒，与中段摩擦焊连接。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅真空炉用摩擦焊铜电极，其特征在于：所述铜电极杆设置成前中后三段，前、后段选用不同外径的纯铜棒钻孔后与中段的纯铜管摩擦焊连接。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅真空炉用摩擦焊铜电极，其特征在于：所述铜电极杆设置成相同外径的前后两段，前段选用纯铜棒钻孔后与后段的纯铜管摩擦焊连接。

5.一种专用于生产多晶硅真空炉用摩擦焊铜电极的制造工艺，包括旋转摩擦焊机，其特征在于：外径为32mm～50mm的铜电极杆分段设计，采用连续驱动摩擦焊机制造时，铜电极杆摩擦焊的工艺参数为：主轴转速1300～1800r/min，摩擦压力70～90MPa，摩擦时间1～6s，顶锻压力100～130MPa，保压时间3～10s，工件顶锻变形量3～8mm；采用惯性摩擦焊机制造时，铜电极杆摩擦焊的工艺参数为：起始转速1500～2200r/min，转动惯量1.2～3.6kg·m²，摩擦压力70～90MPa，摩擦时间1～5s，顶锻压力100～130MPa，保压时间3～5s，工件顶锻变形量3～8mm。