[发明专利]油旋转真空泵有效
申请号: | 201210073014.7 | 申请日: | 2012-03-19 |
公开(公告)号: | CN102678560A | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
发明(设计)人: | 松尾 卓;铃木 规浩;片冈 忠彦;竹内 健太郎 | 申请(专利权)人: | ULVAC机工株式会社 |
主分类号: | F04C25/02 | 分类号: | F04C25/02;F04C18/344 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人: | 蒋雅洁;孟桂超 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 旋转 真空泵 | ||
技术领域
本发明涉及一种油旋转真空泵。
背景技术
油旋转真空泵通过使旋转件在泵室内旋转的同时吸入、压缩并排出气体,来实现预期的泵功能。此时,真空泵油用于滑动于泵室内面上的旋转件的润滑,以及支撑使旋转件旋转的旋转轴的轴承部的润滑等。
众所周知,油旋转真空泵有旋转翼式、膜片式、摇动活塞式等型式。在旋转翼式的情况中,所述旋转件对应于包含转子与多个叶片的旋转翼。例如,下述专利文献1中记载了具有两个串联连接的旋转件的旋转翼式两段式油旋转真空泵。
在旋转翼式油旋转真空泵中,多个叶片随着转子的旋转在泵室的内周面上滑动,从吸气口向排气口输送气体。通常,所述转子配置于靠近泵室的上端,以隔着泵室上端的方式分别形成有排气口与吸气口。并且,通过形成于泵室上端与转子的外周面之间的润滑油的油膜,确保在排气口侧与吸气口侧之间规定的气密性。
专利文献1:日本特开平7-77184号公报
发明内容
在所述结构的油旋转真空泵中,减少叶片滑动阻力的润滑油与气体一起向排气口输送。叶片通过排气口后,润滑油经由泵室上端部的狭窄间隙被导入吸气口侧。另一方面,泵室的压力越降低,叶片刮去的润滑油的量就越增加。当被导入至泵室上端的润滑油的量达到规定以上时,由于排气口与泵室上端部之间的间隙内封入有润滑油,因此很难将润滑油顺利导入吸气侧。其结果是,所述间隙内封入的润滑油对泵室的内壁或叶片产生过大负荷,并产生异常声响或振动。
鉴于所述情况,本发明的目的在于提供一种可以减少由泵室内的润滑油引起的异常声响或振动的油旋转真空泵。
为了达到所述目的,本发明的实施方式涉及的油旋转真空泵具备润滑油的储存室、泵室、旋转件与驱动部。
所述泵室包含:通道,与所述储存室连通;圆筒形状的内周面,具有吸气口与排气口;第一曲面部,在所述吸气口与所述排气口之间具有第一顶部;第二曲面部,在所述排气口与所述第一顶部之间具有第二顶部,且所述第二曲面部形成为与所述第一曲面部连接。
所述旋转件具有与所述内周面相对的外周面和在所述内周面上滑动的滑动部,且以使所述外周面的一部分接近所述第一曲面部的方式配置在所述泵室内。
所述驱动部连接于所述泵室,且具有使所述旋转件旋转的旋转轴。
附图说明
图1为表示本发明实施方式涉及的油旋转真空泵结构的部分剖面侧视图;
图2为所述油旋转真空泵的主要部分的放大图;
图3为沿图2中[A]-[A]线方向的箭头方向剖视图;
图4为所述油旋转真空泵中的第二泵室的内周面的主要部分的放大图;
图5为表示在与本实施方式相同的油旋转真空泵中,第二泵室的内周面是大致相同的圆柱形状时的一个例子的主要部分的放大图;
图6为表示在与本实施方式相同的油旋转真空泵中,第二泵室的内周面上只形成有与第一曲面部对应的曲面部时的一个例子的主要部分的放大图。
附图标记说明
1 油旋转真空泵
10 主体
13 储存室
20 驱动部
21 旋转轴
30 泵机构
31 第一汽缸块
32 第二汽缸块
41 第一转子
42 第二转子
51 第一叶片
52 第二叶片
321 中间块
L 润滑线
P1 第一泵室
P2 第二泵室
R1 第一旋转件
R2 第二旋转件
C1 第一曲面部
C2 第二曲面部
具体实施方式
本发明的实施方式涉及的油旋转真空泵具备润滑油的储存室、泵室、旋转件与驱动部。
所述泵室包含:通道,与所述储存室连通;圆筒形状的内周面,具有吸气口与排气口;第一曲面部,在所述吸气口与所述排气口之间具有第一顶部;第二曲面部,在所述排气口与所述第一顶部之间具有第二顶部,且所述第二曲面部形成为与所述第一曲面部连接。
所述旋转件具有与所述内周面相对的外周面和在所述内周面上滑动的滑动部,且以使所述外周面的一部分接近所述第一曲面部的方式配置在所述泵室内。
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