[发明专利]光刻设备及器件制造方法

权利要求书

1.一种设置为将辐射束通过液体投射到衬底上的光刻投影设备，该设备包括配置为保持物体的支撑台，该物体包括传感器、衬底、密封板和盖板中的至少一个，其中物体和支撑台之间的间隙被保持为最小化以便最小化液体中的气泡形成。

2.根据权利要求1的光刻投影设备，其中物体和支撑台之间的间隙小于0.8mm。

3.根据权利要求1的光刻投影设备，其中物体和支撑台之间的间隙小于0.3mm。

4.根据权利要求1、2、3或4的光刻投影设备，包括用于覆盖衬底台中或之上的多个传感器的单个盖板。

5.根据前述任一权利要求的光刻投影设备，包括对于辐射束透明的盖板。

6.根据权利要求4或5的光刻投影设备，其中盖板是薄膜。

7.根据权利要求6的光刻投影设备，其中该薄膜连接到支撑台的外部边缘上。

8.根据权利要求4、5或6的光刻投影设备，其中盖板与传感器集成。

9.根据权利要求4到8中任一项的光刻投影设备，其中盖板由石英制成。

10.根据前述任一权利要求的光刻投影设备，还包括：

配置为在支撑台的孔中侧向移动物体以便在与液体接触时减少物体边缘和孔侧面之间的间隙的驱动器。

11.根据权利要求10的光刻投影设备，其中该驱动器配置为根据支撑台相对于液体的位置而在支撑台内执行物体的侧向运动以便与液体接触的支撑台的部分包含最小可能的间隙尺寸。

12.根据前述任一权利要求的光刻投影设备，该设备包括在支撑台中的孔，该孔配置为在相同的孔中保持至少两个物体，以便在物体和孔边缘之间具有公共间隙，由此减少了支撑台上的总间隙区域。

13.根据前述任一权利要求的光刻投影设备，其中至少一个物体包括倾斜表面，并且衬底台包括物体被定位其中的孔，其具有相应的倾斜表面以允许孔中物体的自动定心。

14.根据权利要求13的光刻投影设备，其中倾斜边缘为圆锥形表面而孔为圆锥形孔。

15.根据前述任一权利要求的光刻投影设备，还包括：

覆盖至少一个物体的盖板，该盖板被分割以使各段配置为彼此滑动，并覆盖至少一个物体和支撑台之间的间隙，从而使间隙被有效地减小到无间隙。

16.根据权利要求1到4中任一项的光刻投影设备，还包括：

覆盖至少一个物体的盖板，该盖板由弹性材料制成，从而使其配置为在至少一个物体上拉伸，并覆盖至少一个物体和支撑台之间的间隙，从而使间隙被有效地减小到无间隙。

17.根据权利要求16的光刻投影设备，其中盖板包括可拉伸的孔，且物体可以穿过该孔插入到支撑台的孔中。

18.根据权利要求1到3中任一项的光刻投影设备，还包括用于覆盖间隙的粘着剂，该粘着剂附着到间隙的任一侧的至少一个支撑台和至少一个物体上或间隙的任一侧的至少一个支撑台和至少一个物体的集成部分上，附着的方法为水薄膜和真空引起的抽吸之一。

19.根据权利要求18的光刻投影设备，其中粘着剂由玻璃、金属、塑料和任何其它合适的不起反应的物质之一的薄层制成。