[发明专利]作为腐蚀抑制剂的肌胺酸化合物的应用

权利要求书

1.一种肌胺酸化合物或其盐类作为化学机械研磨组成物中的腐蚀抑制剂的应用。

2.如权利要求1所述应用，其中该肌胺酸化合物具有下式：

其中R为氢、N-酰基、月桂酰基、椰油酰基、油酰基、硬脂酰基或肉荳蔻酰基。

3.如权利要求1所述应用，其中该盐选自于由锂盐、钠盐、钾盐和胺盐所构成的群组中。

4.如权利要求1所述应用，其中该肌胺酸化合物或其盐为月桂酰肌胺酸或其钠盐。

5.如权利要求1所述应用，其中该肌胺酸化合物或其盐为椰油酰肌胺酸或其钠盐。

6.如权利要求1所述应用，其中该化学机械研磨组成物另包含有：磨粒、氧化剂、加速剂、抑制剂以及溶剂。

7.如权利要求1所述应用，其中该磨粒为二氧化硅溶胶，且该磨粒占组成物总重的0.01至30％。

8.如权利要求1所述应用，其中该加速剂占组成物总重的0.01至5％。

9.如权利要求1所述应用，其中该抑制剂选自于由咪唑啉类化合物及三唑类化合物所构成的组群。

10.如权利要求1所述应用，其中该抑制剂占组成物总重的0.0001至1％。

11.如权利要求1所述应用，其中该腐蚀抑制剂占组成物总重的0.0001至1％。