[发明专利]一种石墨坩埚单瓣块体再生利用的切割模具及其切割方法有效
| 申请号： | 201210059312.0 | 申请日： | 2012-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN102586863A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 陈海云;秦秀珍 | 申请（专利权）人： | 宁夏隆基硅材料有限公司;银川隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 罗笛 |
| 地址： | 755100 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 坩埚 单瓣 块体 再生 利用 切割 模具 及其 方法 | ||
1.一种石墨坩埚单瓣块体再生利用的切割模具，其特征在于：在底板(10)上固定设置有内模(8)与外模(7)，所述外模(7)与内模(8)圆心重合，内模(8)上安装有多个微调销钉(9)。
2.根据权利要求书1所述的石墨坩埚单瓣块体再生利用的切割模具，其特征在于：所述的外模(7)与内模(8)组合后沿圆周方向，每间隔30°角设有一个角度缺口槽(6)，在角度缺口槽(6)内插有一角度规(5)。
3.根据权利要求书1所述的石墨坩埚单瓣块体再生利用的切割模具，其特征在于：所述的外模(7)或内模(8)上刻有角度刻度。
4.根据权利要求2或3所述的石墨坩埚单瓣块体再生利用的切割模具，其特征在于：所述的外模(7)内径与石墨坩埚的单瓣块体A(11)的外径相同，所述的内模(8)的外径比单瓣块体A(11)内径小1～2mm。
5.一种利用上述切割模具实现石墨坩埚单瓣块体再生利用的切割方法，其特征在于：将单晶硅生产过程中因R部位腐蚀减薄报废的石墨坩埚单瓣块体的两个连接断面，沿圆心向内壁旋转10°～30°角，从断面平行方向将R部位减薄的竖直断面切除，重新拼合组成一套360°角的石墨坩埚，实现石墨坩埚的再生利用。
6.根据权利要求5所述的石墨坩埚单瓣块体再生利用的切割方法，其特征在于：石墨坩埚单瓣块体倒立固定在切割模具上，刀具与单瓣块体平行，从单瓣块体竖直断面(4)沿圆心向内壁旋转10°～15°角处进刀切割，刀具从单瓣块体径向斜切的底部进刀，此时，单瓣块体底部较厚，切割速度调整为20～30mm/min：
在切割至接近R部位之前10～20mm处，将切割速度降低为10±5mm/min，
切单瓣块体另一侧边时，刀具从坩埚块体背部进刀，切割速度调整为10±5mm/min，
当刀具切过R部10～20mm后，切割速度提升为20～30mm/min。
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