[发明专利]模块化式多组分红外气体分析装置

权利要求书

1.模块化式多组分红外气体分析装置，其特征在于，包括单组分红外气体分析模块、电化学气体分析模块、气路、底板及安装于底板之下的加热板；单组分红外气体分析模块，包括检测器、用于安装检测器的检测器座、密封垫、气室座、粘接于气室座的晶片、安装于气室座的气嘴、用于流通被测气体的气室管、光源、用于安装光源的光源座及分别安装于检测器座和光源座的温度传感器；电化学气体分析模块，包括底座、电化学传感器及安装于底座的气嘴。

2.如权利要求1所述的模块化式多组分红外气体分析装置，其特征在于，该分析装置内可安装1至4个单组分红外气体分析模块；可安装1个电化学气体分析模块，或不安装电化学气体分析模块。

3.如权利要求1所述的模块化式多组分红外气体分析装置，其特征在于，各个所述单组分红外气体分析模块的气嘴之间，所述单组分红外气体分析模块的气嘴与所述电化学气体分析模块的气嘴之间，通过内径1mm至6mm的气路管相连。

4.如权利要求1所述的模块化式多组分红外气体分析装置，其特征在于，所述检测器座和光源座上分别安装有温度传感器；所述检测器座和光源座被所述加热板分别加热，加热温度范围为35℃至65℃。

5.如权利要求1所述的模块化式多组分红外气体分析装置，其特征在于，所述检测器安装于所述检测器座内；所述光源安装于所述光源座内。

6.如权利要求1所述的模块化式多组分红外气体分析装置，其特征在于，所述检测器座与所述气室座之间安装有所述晶片和所述密封垫；所述光源座与所述气室座之间安装有所述晶片和所述密封垫。

7.如权利要求1所述的模块化式多组分红外气体分析装置，其特征在于，所述气室管两端安装有所述气室座，气室座上安装有所述气嘴；所述气室管的材料为金属，长度为1mm至300mm。

8.如权利要求1所述的模块化式多组分红外气体分析装置，其特征在于，所述气室管长度不大于30mm时，将两端的所述气室座合为一体加工，并不安装所述气室管。

9.如权利要求1所述的模块化式多组分红外气体分析装置，其特征在于，所述检测器座与所述气室座之间通过紧固件连接；所述光源座与所述气室座之间通过紧固件连接。

10.如权利要求1所述的模块化式多组分红外气体分析装置，其特征在于，所述检测器为双通道固体检测器，一个为分析通道，另一个为参比通道；所述光源为MEMS红外脉冲光源，调制频率范围为1Hz至100Hz。