[发明专利]成膜装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种在被成膜材料上进行成膜材料的成膜的成膜装置。

背景技术

作为这个领域的技术，以往已知有下述专利文献1中记载的成膜装置。该成膜装置为在真空容器内容纳被成膜材料并在被成膜材料表面进行成膜材料的成膜的装置。

专利文献1：日本特开2007-217767号公报

这种成膜装置中，为了控制被成膜材料在真空容器内的移动，需要检测在预定位置上有无被成膜材料。作为这种检测构件可想到，例如对载置被成膜材料的托盘等照射光来进行检测的类型的传感器等。但是，将这种类型的传感器配置在真空容器的外侧而利用时，需要至少在真空容器的壁上设置透射感测光的透射部。可是，真空容器中漂浮着成膜材料因此透射部上也有可能附着成膜材料。并且，成膜材料附着并沉积于透射部，由此失去该透射部的透光性，有无法确保基于传感器的检测功能的情况。

发明内容

鉴于上述问题本发明的目的在于，提供一种能够确保检测有无被成膜材料的检测功能的成膜装置。

本发明的成膜装置在被成膜材料上进行成膜材料的成膜，其特征在于，具备有：成膜室，容纳被成膜材料并进行成膜处理；传送构件，设置在成膜室的内部，传送被成膜材料；窗部，设置在划分成膜室的壁部且具有透射光的透射部，可实现光从成膜室的外部向内部的投射；检测构件，设置在成膜室的外部，使感测光透射窗部的透射部来投射，从而检测成膜室的内部有无被成膜材料；及沉积抑制构件，抑制成膜材料向透射部的沉积。

该成膜装置中，通过沉积抑制构件抑制成膜材料向透射部的沉积，因此能够抑制因沉积的成膜材料引起的感测光的透射状态恶化，其结果，能够确保检测有无被成膜材料的检测功能。

并且，具体而言，沉积抑制构件可使附着于透射部的成膜材料蒸发，并且抑制成膜材料向透射部的附着。

更具体而言，沉积抑制构件可具备加热透射部的加热部。根据该结构，能够加热附着于透射部的成膜材料并使之蒸发来抑制附着。

另外，加热部可设置在比壁部更靠成膜室的内部的一侧。若在比壁部更靠内部的一侧设置加热部，则能够抑制加热所涉及的透射部周围结构的复杂化。

并且，作为具体结构可设为如下：窗部具备筒状部，所述筒状部设置在比壁部更靠成膜室的内部的一侧，并且使感测光通过空心部，在筒状部的空心部设置有透射部，加热部被设置为包围筒状部的端部的侧面和透射部。根据该结构，加热部的热通过筒状部有效地传递至透射部。

并且，加热部可设置在比壁部更靠成膜室的外部的一侧。若将加热部设置在比壁部更靠外部的一侧，则能够节省成膜室内的空间。

并且，作为具体结构可设为如下：窗部具备筒状部，所述筒状部设置在比壁部更靠成膜室的外部的一侧，并且使感测光通过空心部，在筒状部的空心部设置有透射部，加热部被设置为包围筒状部的端部的侧面和透射部。根据该结构，加热部的热通过筒状部有效地传递至透射部。

并且，作为具体结构可设为如下：窗部具备：筒体，所述筒体设置在比透射部更靠成膜室的内部的一侧且具有使感测光通过的空心部；及第2透射部，设置在空心部内，透射感测光，透射部通过筒体和第2透射部而与漂浮有成膜材料的空间隔开，第2透射部被设置为可相对于筒体自如地装卸。这时，第2透射部作为沉积抑制构件发挥作用。并且，由于第2透射部从筒体装卸自如，因此即使在第2透射部沉积有成膜材料时，也能够轻松更换第2透射部，并能够确保感测光的透射状态。

并且，成膜材料可为硒。硒具有较厚地附着于透射部的性质，并且附着时光的透射度也较低，因此容易阻碍光在透射部中的透射。因此，当成膜材料为硒时，上述沉积抑制构件的必要性尤其高。

发明效果

根据本发明的成膜装置，能够确保检测有无被成膜材料的检测功能。

附图说明

图1是从侧方观察本发明的第1实施方式所涉及的成膜装置的截面图。

图2是从上方观察图1的成膜装置的截面图。

图3是说明图1的成膜装置中进行的多元蒸镀法的图。

图4是具备CIGS发电层的CIGS太阳能电池的截面图。

图5是进行基于静止成膜方法的多元蒸镀法的成膜装置的截面图。

图6是从侧方观察本发明的第2实施方式所涉及的成膜装置的截面图。

图7是从上方观察图6的成膜装置的截面图。

图8是从侧方观察本发明的第3实施方式所涉及的成膜装置的截面图。

图9是从上方观察图8的成膜装置的截面图。