[发明专利]可调谐窄带紫外激光发生装置及其发生方法

权利要求书

1.一种可调谐窄带紫外激光发生装置，它包括第一二极管激光器(1)，其特征在于：它还包括光栅(2)、光栅调整架(3)、光栅控制器(4)、第一反射镜(5)、锯齿波发生器(6)、第二二极管激光器(7)、第二反射镜(8)、二向色镜(9)、透镜组(10)、BBO晶体(11)、凸透镜(12)、三角棱镜(13)和光阑(14)，

光栅(2)设置在光栅调整架(3)上，光栅调整架(3)的姿态由光栅控制器(4)控制，

第一二极管激光器(1)发出的激光束入射至光栅(2)，光栅(2)的反射光束经第一反射镜(5)反射后入射至二向色镜(9)的正面，

锯齿波发生器(6)的电压信号输出端连接第二二极管激光器(7)的电压信号输入端，第二二极管激光器(7)发出的激光束经第二反射镜(8)反射后入射至二向色镜(9)的反面，

二向色镜(9)正面入射光束的透射光束与二向色镜(9)反面入射光束的反射光束重叠共线后入射至透镜组(10)，透镜组(10)的透射光束入射至BBO晶体(11)，经该BBO晶体(11)透射的激光束经过凸透镜(12)准直后入射至三角棱镜(13)，经三角棱镜(13)折射的光束垂直入射至光阑(14)的中心孔。

2.根据权利要求1所述的可调谐窄带紫外激光发生装置，其特征在于：第一二极管激光器(1)的激光源为法布里柏罗型单横模、多纵模激光二极管，其发射光束的中心波长为370nm～470nm。

3.根据权利要求1或2所述的可调谐窄带紫外激光发生装置，其特征在于：第二二极管激光器(7)的激光源为分布式反馈型或分布布拉格反射型单纵模激光二极管，其发射光束的中心波长为635nm～1550nm。

4.根据权利要求3所述的可调谐窄带紫外激光发生装置，其特征在于：透镜组(10)由依次排列的第一凸透镜(10-1)、凹透镜(10-2)和第二凸透镜(10-3)组成，该第一凸透镜(10-1)、凹透镜(10-2)和第二凸透镜(10-3)的光轴共线，第一凸透镜(10-1)的焦距绝对值为f1，凹透镜(10-2)的焦距绝对值为f2，第一凸透镜(10-1)和凹透镜(10-2)的中心距离b为：b＝f1-f2；

入射至透镜组(10)的平行光束首先入射至第一凸透镜(10-1)，并经第一凸透镜(10-1)汇聚至凹透镜(10-2)，经该凹透镜(10-2)透射后形成的平行光束入射至第二凸透镜(10-3)，经该第二凸透镜(10-3)聚焦后获得的汇聚光束作为透镜组(10)的透射光束入射至BBO晶体(11)。

5.根据权利要求4所述的可调谐窄带紫外激光发生装置，其特征在于：所述BBO晶体(11)的光入射面的中心位于第二凸透镜(10-3)的焦点处。

6.根据权利要求5所述的可调谐窄带紫外激光发生装置，其特征在于：所述光阑(14)的中心孔的中心与经三角棱镜(13)折射获得的紫外光束的光斑中心重合。

7.根据权利要求6所述的可调谐窄带紫外激光发生装置，其特征在于：所述光阑(14)的中心孔的内径为3mm～5mm，光阑(14)侧壁的径向厚度为r，光栅(2)的刻线间距为d，并且2d＜r＜4d。

8.根据权利要求7所述的可调谐窄带紫外激光发生装置，其特征在于：所述第一二极管激光器(1)发出的激光束入射至光栅(2)的入射角为θ，10°＜θ＜80°。