[发明专利]电磁致动器、平台设备以及光刻设备

权利要求书

1.一种电磁致动器，包括：

第一磁性构件和第二磁性构件，所述第一磁性构件和第二磁性构件相对于彼此是可移位的并且布置成提供磁路；和

线圈，配置成在使用中接收电流以产生通过所述磁路的磁通量，由此在第一磁性构件和第二磁性构件之间产生沿第一方向的力，

所述磁通量在使用中在第一磁性构件和第二磁性构件之间被传递通过第一磁性构件的第一表面和第二磁性构件的第二表面，所述第一表面和第二表面通过空气间隙分隔开，

其中第一表面和第二表面相对于彼此布置成使得：在基本上垂直于第一方向的第二方向上，第一表面的外部尺寸延伸超过第二表面的外部尺寸，并且其中在使用中对于在致动器的操作范围内第一磁性构件相对于第二磁性构件的每一个位置，第二表面沿第一方向在第一表面上的投影保持在第一表面的外部轮廓内。

2.一种电磁致动器，包括：

第一磁性构件和第二磁性构件，所述第一磁性构件和第二磁性构件相对于彼此是可移位的并且布置成提供磁路；

线圈，配置成在使用中接收电流以产生通过所述磁路的磁通量，由此在第一磁性构件和第二磁性构件之间产生沿第一方向的力，

所述磁通量在使用中在第一磁性构件和第二磁性构件之间被传递通过第一磁性构件的第一表面和第二磁性构件的第二表面，所述第一表面和第二表面通过空气间隙分隔开；和

永磁体，布置成提供通过所述磁路的附加的磁通量，其中所述附加的磁通量布置成沿基本上平行于第一方向的方向越过将第一磁性构件与第二磁性构件分隔开的空气间隙。

3.如权利要求1或2所述的电磁致动器，其中所述线圈围绕第二磁性构件的腿部缠绕。

4.如前述权利要求任一项所述的电磁致动器，其中第二表面具有n×m的外部面积，并且第一表面具有至少(n+δ)×(m+δ)的外部面积，δ是第一磁性构件和第二磁性构件之间的名义空气间隙长度。

5.如前述权利要求任一项所述的电磁致动器，当引用权利要求1时，还包括永磁体，所述永磁体布置成提供通过所述磁路的附加的磁通量。

6.如权利要求5所述的电磁致动器，其中永磁体是第二磁性构件的一部分。

7.如权利要求5或6所述的电磁致动器，其中所述附加的磁通量布置成在基本上平行于第一方向的方向上越过将第一磁性构件和第二磁性构件分隔开的空气间隙。

8.如权利要求5-7中任一项所述的电磁致动器，其中第一磁性构件包括第一部分和第二部分，第二磁性构件布置在第一部分和第二部分之间。

9.如前述权利要求任一项所述的电磁致动器，其中致动器围绕基本上平行于第一方向的轴线是旋转对称的。

10.如前述权利要求任一项所述的电磁致动器，其中第一表面和第二表面相对于彼此布置成使得：在基本上垂直于第一方向和第二方向的第三方向上，第一表面的外部尺寸延伸超过第二表面的外部尺寸。

11.如前述权利要求任一项所述的电磁致动器，还包括测量线圈，所述测量线圈配置成产生表示通过磁路的磁通量的测量信号，其中测量线圈布置成基本上包围通过磁路的磁通量。

12.一种平台设备，配置成定位物体，所述平台设备包括：

台，配置成保持物体；和

根据前述权利要求中任一项所述的一个或更多个致动器，用以定位所述台，其中所述一个或更多个致动器的第一磁性构件安装至所述台。

13.一种光刻设备，包括：

照射系统，配置成调节辐射束；

支撑结构，构造成支撑图案形成装置，所述图案形成装置能够将图案在辐射束的横截面上赋予辐射束以形成图案化的辐射束；

衬底台，构造成保持衬底；

投影系统，配置成将图案化的辐射束投影到衬底的目标部分上；和

如权利要求1-11中任一项所述的致动器，配置成定位所述支撑结构或衬底台。

14.一种用于压印光刻术的设备，布置成将图案从图案形成装置转移至衬底上，所述设备包括一个或更多个如权利要求1-11中任一项所述的致动器。

15.一种器件制造方法，包括下列步骤：

将图案从图案形成装置转移至衬底的步骤；和

在转移步骤之前，使用一个或更多个如权利要求1-11中任一项所述的致动器来定位图案形成装置或衬底。