[发明专利]压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

说明书

技术领域

本发明涉及压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。

背景技术

在便携电话或便携信息终端设备上，例如大多采用利用了水晶(石英)等的压电振动器作为时刻源或控制信号等的定时源、参考信号源等。作为这种压电振动器有一种是在形成空腔的封装件(package)内气密密封了音叉型的压电振动片。

封装件的构造是在一对玻璃基板之中的一方形成了凹部的状态下使其相互叠合，并通过直接接合两者而使凹部作为空腔发挥功能。另外，压电振动片的构成则是具备：在长度方向(长边方向)上延伸并且在宽度方向上并列配置的一对振动臂部；和将这两个振动臂部的基端侧连结起来的基部，两振动臂部以基端侧作为起点在接近、分离的方向上以既定的谐振频率进行振动(摆动)。

作为制造这样所构成的压电振动器时的振动臂部的频率调整方法有一种如下进行调整的方法，就是在压电振动片上的振动臂部的前端预先形成由Cr、Au、Ag等构成的重锤金属膜，并通过激光照射部分地除去(修整；trimming)重锤金属膜以使振动臂部的频率成为目标频率(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本专利公开特开2002-164759号公报

然而，在上述的压电振动器中，伴随于便携电话或便携信息终端设备的小型化人们希望更加小型、薄型化。因此，压电振动片与封装件的内表面的厚度方向上的间隙(clearance)变得非常狭窄(例如20μm～100μm左右)。

在此情况下，在气密密封后使压电振动器落下而进行的冲击特性试验时等，就担心振动臂部的前端部因振动臂部在厚度方向上进行振动而接触到封装件的内表面。于是，就有形成在振动臂部的前端部的重锤金属膜因振动臂部接触到封装件的内表面时的冲击而剥落，从而使振动臂部的频率发生变动这种问题。

针对于此，人们还考虑通过激光照射积极地除去振动臂部的前端部的重锤金属膜，但是源于激光照射的位置精度(例如20μm～50μm左右)还会在前端部残存不少重锤金属膜。

发明内容

因而，本发明就是鉴于上述问题而构思的，其目的是提供一种能够抑制重锤金属膜剥落以抑制频率变动的压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。

为了解决上述课题，本发明提供如下方案。

本发明所涉及的压电振动片，其中包括：在宽度方向上并列配置的一对振动臂部；将上述一对振动臂部上的延伸方向的基端一侧连接起来的基部；以及形成在上述振动臂部的外表面上的重锤金属膜，其特征在于，上述重锤金属膜避开上述振动臂部的上述延伸方向的前端部的回避区域而形成。

根据这一构成，因将重锤金属膜形成在避开振动臂部的前端部的回避区域的位置，故在将压电振动片气密密封于封装件内的情况下压电振动片(振动臂部的前端)在厚度方向上进行了振动时，即便振动臂部的前端部接触到封装件的内表面，亦能够抑制重锤金属膜从振动臂部剥落。因此，就能够抑制在频率调整后频率发生变动，所以能够提供在振动特性上表现出色的高品质的压电振动片。

另外，通过预先避开回避区域来形成重锤金属膜，就无需为了除去形成在振动臂部的前端部的重锤金属膜而使用高精度的激光装置。其结果还能够抑制制造成本的增加。

另外，本发明的特征在于：上述重锤金属膜通过激光照射被部分地除去，从而使上述振动臂部的频率被调整成目标频率，上述回避区域的上述延伸方向上的长度被设定成大于上述激光照射所造成的误差。

根据这一构成，在通过激光照射除去回避区域的重锤金属膜的情况下，无论激光装置的位置精度如何都能够可靠地除去回避区域的重锤金属膜。由此，就能够抑制重锤金属膜从振动臂部剥落。

另外，本发明所涉及的压电振动器，其特征在于：上述本发明的压电振动片被气密密封于封装件而构成。

根据这一构成，由于上述本发明的压电振动片被气密密封于封装件，所以能够在谋求小型、薄型化的基础上，提供在振动特性上表现出色的高品质的压电振动器。

另外，本发明的振荡器，其特征在于：上述本发明的压电振动器作为振子与集成电路电连接。

另外，本发明的电子设备，其特征在于：上述本发明的压电振动器与计时部电连接。

另外，本发明的电波钟，其特征在于：上述本发明的压电振动器与滤波部电连接。

本发明所涉及的振荡器、电子设备及电波钟能够提供可靠性高的振荡器、电子设备及电波钟。

根据本发明的压电振动片，由于能够抑制频率调整后频率发生变动，所以能够提供在振动特性上表现出色的高品质的压电振动片。