[发明专利]稀土透紫外光玻璃

说明书

技术领域

本发明涉及电真空制造领域，尤其是指一种稀土透紫外光玻璃。

背景技术

我国早在上世纪70年代就生产透紫外光玻璃，但其气线、条纹、沙点很多，抗水化学稳定性低，在玻璃厚度为1mm，波长为253.7nm处的紫外光透过率仅有60～70％；而且，紫外曝光透过率衰减大，抗水化学稳定性较差；直至目前，其质量仍无大的提高，应用仍达不到制造高端真空器件的要求。

发明内容

为了克服现有技术的缺陷，本发明公开了一种应用于UVC波段稀土透紫外光玻璃组分的设计方案，该方案组分按氧化物计重量百分比SiO₂为62～65％，Al₂O₃为3～5％，B₂O₃为22～24％，Na₂O为5～7％，rare earth为0.1～1％，Li₂O为0.1～1％，ZnO为0.1～1％。这使得该玻璃紫外光透过率、紫外曝光透过率以及抗水化学稳定性得以提高。

本发明为保证透过率、膨胀系数及满足工艺要求的前提下，玻璃组分中引入稀土元素(rare earth)，予以填充玻璃网络间隙，强化玻璃结构，堵塞离子迁移通道，提高玻璃抗水化学稳定性和抗紫外曝光透过率衰减性能，同时也起到了助熔及净化熔体的作用，改善了工艺性能。

本发明稀土透紫外光玻璃在UVC波段的紫外光透过率大于89～90％，并可直接与难熔金属(钨、钽、钼、铌、铪、铬、钒、锆、钛)及可伐合金封接。该玻璃适用于光电管、光电倍增管、紫外线杀菌及臭氧发生管的玻壳或光窗材料。

有益效果

本发明公开了一种稀土透紫外光玻璃，其技术方案组分按氧化物计重量百分比SiO₂为62～65％，Al₂O₃为3～5％，B₂O₃为22～24％，Na₂O为5～7％，rare earth为0.1～1％，Li₂O为0.1～1％，ZnO为0.1～1％。其在UVC波段的紫外光透过率大于89～90％，并可直接与难熔金属(钨、钽、钼、铌、铪、铬、钒、锆、钛)及可伐合金封接。其适用于光电管、光电倍增管、紫外线杀菌管、臭氧发生管等的玻壳制造或光窗材料。

具体实施方式

本发明具体实施方案及步骤如下：

表1，玻璃组分的具体实施例：