[发明专利]等离子体电源手动切换装置

说明书

所属技术领域

本发明属于等离子体电源手动切换装置，具体涉及实验型镀膜设备薄膜沉积机制。 

背景技术

现有PVD等离子体物理气象沉积设备是借助在靶极上通入高电压直流、交流或射频电源来离子化工作气体（通常为氩气等惰性气体），以产生等离子体来轰击靶面，使靶原子或分子获得动能向一定方向飞溅，并沉积薄膜于对向的基片上。一般设备的溅镀腔组态均为同一性质的靶源，但对于实验设备以成本为优先考虑的情况下需在单一腔室内设置不同性质的靶源，但皆使用同一具直流电源供应器，既使用者自行开关直流电源供应器后再将电源线接至所需要的靶极，此举不仅容易损坏电源供应器，同时人员更换电源线时也容易发生危险。 

发明内容

综上所述，为了克服现有技术不足，本发明的主要目的在于提供离子体电源手动切换装置。 

为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是： 

离子体电源手动切换装置，通继电器电路及互锁电路实现手动切换不同的负载交流电磁接触器动作，进而达到电源切换不同的供应系统到不同的负载使用，同时使用者可透过人机界面上设置的启动按键来进行启动或关闭继电器电路，此装置结构简单，使用方便。

附图说明

图1系为本发明装置电路图。 

图2系为本发明萤幕界面示意图。 

主要组件符号说明 

11．．．K1继电器

12．．．K2继电器

13．．．K3继电器

14．．．KM1交流电磁接触器

15．．．KM2交流电磁接触器

16．．．KM3交流电磁接触器

21．．．萤幕界面

22．．．负载1启动按键

23．．．负载2启动按键

24．．．负载3启动按键

 具体实施方式

    下面结合附图对本发明做进一步说明。

请参阅图1所示，离子体电源手动切换装置，如图1所示：K1继电器11、K2继电器12、K3继电器13组成继电器电路及互锁控制，当K1继电器11启动时，其常闭接点开路，使K2继电器12及K3继电器电路13即使误动作也无法完成回路，透过K2继电器12及K3继电器13的常闭接点使K1继电器11完成回路启动KM1交流电磁接触器14。当K2继电器12启动时，其常闭接点开路，使K1继电器11及K3继电器电路13即使误动作也无法完成回路，透过K1继电器11及K3继电器13的常闭接点使K2继电器12完成回路启动KM2交流电磁接触器15。当K3继电器13启动时，其常闭接点开路，使K1继电器11及K2继电器电路12即使误动作也无法完成回路，透过K1继电器11及K2继电器12的常闭接点使K3继电器13完成回路启动KM3交流电磁接触器16。 

   请参阅图2所示，离子体电源手动切换装置，如图2所示：用户可透过萤幕接口21上的负载1启动按键22、负载2启动按键23、负载3启动按键24，来分别启动需要供给电源的靶极，以实现手动切换，无需关闭电源及更换电源线。 

        以上所述实例是对本发明技术方案的说明而非限制，所属技术领域普通技术人员的等同替换或者根据现有技术而做的修改，只要未超出本发明技术方案的思路和范围，均应包含在本发明的权力要求范围之内。