[发明专利]垂直度误差可调的垂向闭式静压导轨

权利要求书

1.垂直度误差可调的垂向闭式静压导轨，其特征在于设有垂向闭式静压导轨、垂直度误差检测控制单元和液压系统；

垂向闭式静压导轨设有立柱、立柱导轨和滑块导轨；立柱导轨由2条导轨构成，2条导轨分别固于立柱正面左侧和右侧，滑块导轨为平板式导轨，滑块导轨左右两侧的正反两面与立柱导轨间隙滑动配合，滑块导轨正面左右两侧上半部设有前上进油油腔阵列，滑块导轨正面左右两侧下半部设有前下进油油腔阵列，滑块导轨反面左右两侧上半部设有后上进油油腔阵列，滑块导轨6反面左右两侧下半部设有后下进油油腔阵列；

垂直度误差检测控制单元设有激光干涉仪、反射镜、上位移传感器、上支架、上反射块、下位移传感器、下支架、下反射块和数据处理与控制模块；激光干涉仪固于立柱顶端正面，反射镜安装于滑块导轨的顶部，上位移传感器通过上支架安装在滑块导轨的上部，上反射块安装在立柱导轨的上侧边，下位移传感器通过下支架安装在滑块导轨的下部，下反射块固定在立柱导轨下侧边，数据处理与控制模块数据输入端与上位移传感器和下位移传感器分别电连接；

液压系统设有前上伺服电机、前下伺服电机、后上伺服电机、后下伺服电机、前上油泵、前下油泵、后上油泵、后下油泵、前上进油管、前下进油管、后上进油管、后下进油管和液压油箱；前上伺服电机联接前上油泵，前上油泵出油口接前上进油管一端，前上进油管另一端与所述前上进油油腔阵列连通；前下伺服电机联接前下油泵，前下油泵出油口接前下进油管一端，前下进油管另一端与所述前下进油油腔阵列连通；后上伺服电机联接后上油泵，后上油泵出油口接后上进油管一端，后上进油管另一端与所述后上进油油腔阵列连通；后下伺服电机联接后下油泵，后下油泵出油口接后下进油管一端，后下进油管另一端与所述后下进油油腔阵列连通；前上伺服电机、前下伺服电机、后上伺服电机和后下伺服电机与所述数据处理与控制模块的控制输出端分别电连接。

2.如权利要求1所述的垂直度误差可调的垂向闭式静压导轨，其特征在于所述2条导轨为2条相同的凹字形导轨，2条凹字形导轨对称设置。