[发明专利]光学部件、其制造方法以及使用其的光学系统有效
| 申请号： | 201210033810.8 | 申请日： | 2012-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN102645681A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 酒井明;槇野宪治 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G02B1/02 | 分类号： | G02B1/02;G02B1/10;B32B9/04;B32B3/26;C23C14/08;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李帆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 部件 制造 方法 以及 使用 光学系统 | ||
1.光学部件，包括：
中间层；和
在该中间层上层叠的氧化铝层，该氧化铝层有具有由氧化铝晶体制成的不规则结构的表面，其中
该中间层包括空隙。
2.根据权利要求1的光学部件，其中该中间层的空隙率为1％-50％。
3.光学部件，包括：
基材；
中间层；和
在该中间层上层叠的氧化铝层，该氧化铝层有具有由氧化铝晶体制成的不规则结构的表面，其中
该中间层包括相对于该基材的表面垂直或倾斜的多个柱状结构体，并且
该中间层在该多个柱状结构体之间包括空隙。
4.光学部件的制造方法，该光学部件包括基材、中间层和在该中间层上层叠的氧化铝层，该氧化铝层有具有由氧化铝晶体制成的不规则结构的表面，
该方法包括：
在非活性气体气氛中在该基材上沉积蒸镀材料以形成该中间层；和
在该中间层上形成含有铝的膜，并且对该膜进行热水处理以在该膜的表面上形成氧化铝层，该氧化铝层具有由氧化铝晶体制成的不规则结构。
5.光学部件的制造方法，该光学部件包括基材、中间层和在该中间层上层叠的氧化铝层，该氧化铝层有具有由氧化铝晶体制成的不规则结构的表面，
该方法包括：
进行在相对于该基材的表面倾斜的方向上在该基材上沉积蒸镀材料的倾斜沉积以形成该中间层；和
在该中间层上形成含有铝的膜，并且对该膜进行热水处理以在该膜的表面上形成氧化铝层，该氧化铝层具有由氧化铝晶体制成的不规则结构。
6.根据权利要求5的光学部件的制造方法，其中该基材的法线与气相沉积方向之间形成的沉积角度θ小于80°来进行该倾斜沉积。
7.根据权利要求5的光学部件的制造方法，其中该倾斜沉积包括在该基材的表面上沉积主要组分为SiO2的蒸镀材料。
8.光学系统，其使用根据权利要求1的光学部件。
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