[发明专利]氢氟酸废水处理方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种对玻璃基板等进行蚀刻之后需要废弃处理的氢氟酸的废水处理方法，尤其涉及使用含氢氟酸的蚀刻溶液后将氟浓度从高浓度降低到低浓度而废弃的废水处理方法。

背景技术

制造显示面板等时，用蚀刻溶液对玻璃基板进行蚀刻的工艺使用大量的含高浓度氢氟酸的溶液。因此，蚀刻工艺结束后进行氢氟酸浓度依然高的蚀刻溶液的废弃处理时，需要支付另外的费用而委托给专门回收废水的服务公司，并且如此回收的含氢氟酸的废水与含有其他有害物质的废水混合，会经过废水处理工艺。在玻璃基板的细磨(slimming)工艺或者用于形成图案的蚀刻工艺等工艺中使用后需要处理的废水中，氟离子浓度约为10,000至25,000ppm以上，因此降低氟离子的浓度成为废水处理的核心问题。对于单独处理含高浓度氟离子的废水的方法来说，尚未公开有特别好的方法。处理废水时，对于一同包含氢氟酸等其他有害物质的综合废水，多次反复进行作为物理化学处理的一级处理，该一级处理为用消石灰等中和并过滤淤渣(Sludge)的过程，然后进行诸如生物化学处理或电分解处理等的二级、三级处理。

然而，目前尚未公开有采用单独处理蚀刻工艺中产生的包含高浓度氟离子的废水的物理化学处理方法而能够急剧降低氟离子浓度的技术。如果能够提供这种技术，则可以期待环保效果的同时可以期待降低废水处理费用的效果。

发明内容

鉴于此，本发明的目的在于提供一种对于包含高浓度氟离子的蚀刻后的残留液单独将氟离子浓度转换成极其低的浓度的废水处理方法。

本发明可以提供一种氢氟酸废水处理方法，其特征在于，包括：步骤a，在含有氟离子的废水中加入酸和含钙盐；步骤b，加入氢氧化钙；步骤c，与酸一起加入分别包含铁盐或铝盐的助凝剂；步骤d，加入高分子凝结剂。

并且，本发明可以提供一种氢氟酸废水处理方法，其特征在于，所述步骤a以及步骤b中，搅拌1至20小时。

并且，本发明可以提供一种氢氟酸废水处理方法，其特征在于，还包括步骤e，在所述步骤d之后，过滤生成的淤渣。

并且，本发明可以提供一种氢氟酸废水处理方法，其特征在于，在进行过滤的所述步骤e之后，对于残留的废水反复进行步骤a至步骤e。

并且，本发明可以提供一种氢氟酸废水处理方法，其特征在于，所述步骤b使废水的pH值达到10以上。

并且，本发明可以提供一种氢氟酸废水处理方法，其特征在于，所述步骤c的助凝剂包括：氯化亚铁(FeCl₂)、硫酸铝(Al₂(SO₄)₃)、硫酸亚铁(FeSO₄)、硫酸铁(Fe₂(SO₄)₃)、氯化铁(FeCl₃)、聚氯化铝(PAC，Poly Aluminum Chloride)、铵铝矾(Al(NH₄)(SO₄)₂·12H₂O)、铝酸钠(Sodium Aluminate)，并且经过步骤c所得的溶液根据步骤c中加入的酸而成为中性。

并且，本发明可以提供一种氢氟酸废水处理方法，其特征在于，所述酸为盐酸，所述含钙盐为硝酸钙、氯化钙、硫化钙中的一种，用摩尔比计，所述酸和所述含钙盐的混合比为1∶1。

并且，本发明可以提供一种氢氟酸废水处理方法，其特征在于，所述氢氟酸废水处理方法处理废水中氟离子浓度为10,000ppm以上的废水。

根据本发明，通过单独处理蚀刻工艺后残留的废水而可以将10,000ppm以上的氟离子浓度降低到几百ppm水平，对于如此残留有低浓度的氟离子的废水，可以在后续工艺中通过多种已知的方法很容易地制备出几ppm至几十ppm水平的溶液，因此环保效果非常大。

并且，根据本发明，还可以大幅减轻进行蚀刻工艺的工厂的环境有害性，并且可以降低废水处理所需的费用。

附图说明

图1为表示本发明的优选实施例的流程图。

图2a至图2d为表示本发明的优选实施例的概略性的示意图。

具体实施方式

以下，参照附图详细说明根据本发明的优选实施例。

图1为表示本发明的实施例的整个流程的流程图。

本发明的目的在于，去除对于玻璃基板进行细磨工艺、图案形成工艺等工艺之后产生的蚀刻废水中残留的高浓度的氟离子。主要的工艺在于，利用氟离子(F^-)的沉淀反应制成淤渣，经过过滤去除。