[发明专利]一种高精度平行光曝光机的PCB板定位装置及其定位方法无效
申请号: | 201210030651.6 | 申请日: | 2012-02-13 |
公开(公告)号: | CN102540765A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 黃建 | 申请(专利权)人: | 志圣科技(广州)有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F9/00 |
代理公司: | 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 | 代理人: | 李永庆 |
地址: | 510850 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高精度 平行 曝光 pcb 定位 装置 及其 方法 | ||
1.一种高精度平行光曝光机的PCB板定位装置,其特征在于:它是由宏动定位装置、微动定位装置、控制器和位置检测装置构成,其中,宏动定位装置是由伺服电机、联轴器、丝杠和宏动工作台构成,所述控制器通过伺服控制器与伺服电机电连接,伺服电机通过联轴器带动丝杆转动,丝杆带动宏动工作台移动;微动定位装置是由压电陶瓷驱动电源和压电陶瓷微动工作台构成,所述压电陶瓷驱动电源与压电陶瓷微动工作台电连接,压电陶瓷微动工作台设在宏动工作台上,所述压电陶瓷微动工作台,用以放置PCB板;所述位置检测装置,用以检测宏动定位装置对PCB板快速移动后的实际位置与预定位置的位移误差,并将该位移误差信息传送给控制器;控制器依据该位移误差信息得出使PCB板到达指定位置时压电陶瓷微动工作台所需要的位移量,依据该位移量对压电陶瓷驱动电源进行控制。
2.根据权利要求1所述的高精度平行光曝光机的PCB板定位装置,其特征在于:所述位置检测装置,是由四象限光电二极管传感器、信号处理模块和激光光源装置构成,所述激光光源装置设在压电陶瓷微动工作台上,所述四象限光电二极管传感器将接收到的激光光源装置的光信号传送给信号处理模块,信号处理模块计算出宏动定位装置对PCB板快速移动后的实际位置与预定位置的位移误差信息,并将该位移信息传送给所述的控制器。
3.利用权利要求1所述的高精度平行光曝光机的PCB板定位装置进行PCB板定位的方法,其特征在于包括以下步骤:
A、利用宏动定位装置对PCB板快速定位:在控制器控制下,宏动定位装置中的伺服电机通过丝杆带动宏动工作台,从而带动使压电陶瓷微动工作台及其上的PCB板到达预定位置;
B、计算微动定位装置的位移:利用位置检测装置检测宏动定位装置对PCB板快速移动后的实际位置与预定位置的位移误差,并利用该位移误差计算出PCB板到达指定位置时压电陶瓷微动工作台所需要的位移;
C、利用微动定位装置实现PCB板的精确定位:控制器依据步骤B中所得出的位移信息对压电陶瓷驱动电源进行控制,使压电陶瓷微动工作台带动PCB板到达指定位置,以实现对PCB板的精确定位。
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