[发明专利]一种微细电铸机床

权利要求书

1.一种微细电铸机床，包括机床底座，底座上设有工作台，工作台下方设有储液槽，工作台上设有电铸槽，电铸槽内设有阳极装夹单元和阴极装夹单元，阳极装夹单元用于放置阳极，阴极装夹单元用于放置阴极，底座上设有与储液槽连接的过滤循环单元，其特征在于，还包括阳极水平进给单元、阳极旋转单元、阴极旋转单元和运动控制系统；所述阳极装夹单元包括阳极旋转杆以及安装于阳极旋转杆上的阳极挂架，所述阳极安装于阳极挂架上；所述阴极装夹单元包括阴极旋转杆以及安装于阴极旋转杆上的阴极挂架，所述阴极安装于阴极挂架上；所述阳极水平进给单元包括固定在工作台上的阳极水平进给伺服电机，阳极水平进给伺服电机输出端通过联轴器与丝杠相连，丝杠两端固定在组合轴承座上，丝杠螺母与拖板相连，拖板连接于两条与丝杠平行安装的导轨上；所述阳极旋转单元包括垂直固定在拖板上的阳极双立柱以及安装在阳极立柱上的阳极旋转驱动单元，阳极旋转驱动单元的输出端与阳极旋转杆连接；所述阴极旋转单元包括垂直固定在工作台上的阴极双立柱以及安装在阴极立柱上的阴极旋转驱动单元，阳极旋转驱动单元的输出端与阴极旋转杆连接。

2.如权利要求1所述的微细电铸机床，其特征在于，所述微细电铸机床还包括温度控制单元和电铸工艺参数监测单元；所述运动控制系统包括阳极水平进给控制子系统、阳极旋转控制子系统和阴极旋转控制子系统，阳极水平进给控制子系统、阳极旋转控制子系统和阴极旋转控制子系统分别与阳极水平进给伺服电机、阳极旋转驱动单元和阴极旋转驱动单元相连。

3.如权利要求1或2所述的微细电铸机床，其特征在于，所述阳极挂架由上挂架和下挂架通过螺纹活动联接而成，下挂架可绕螺纹联接轴线相对于上挂架在0～180°任意旋转并保持任一角度；所述阴极挂架由U形主挂架和框式副挂架组成，副挂架通过螺纹活动安装在主挂架“U”形槽内开口端，副挂架可绕螺纹联接轴线相对于主挂架在0～360°任意旋转并保持任一角度。

4.如权利要求3所述的微细电铸机床，其特征在于，所述阳极安装于下挂架上，所述阴极通过阴极夹具安装于副挂架上。