[发明专利]密封构件的制造方法及成型装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种通过汽缸内的活塞的往复运动来输送气体的活塞真空泵(往复运动泵)所使用的密封构件，更详细而言，涉及一种安装于在汽缸内滑动的活塞上的密封构件的制造方法及与其相适应的成型装置。

背景技术

活塞真空泵是指具备汽缸及可以在汽缸内部移动的活塞，并通过汽缸内的活塞的往复运动交互进行吸气和排气的容积移送式干式真空泵。

这种真空泵要求汽缸内面和活塞周面之间具有密封性。例如，下述专利文献1中记载了一种真空泵，其具备杯形衬垫，该杯形衬垫具有向相对于由汽缸和活塞形成的吸气排气室远离的方向延伸的辅助密封部。所述辅助密封部在杯形衬垫的缘部一体形成为法兰状。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2003-328937号公报

发明内容

近年来，对于活塞真空泵，要求提高汽缸和活塞之间的密封性，并提高真空泵的耐久性。但是，在汽缸内面滑动的活塞的密封部存在随着泵的运转时间而发生经时性磨损，磨损量越多密封性越低的倾向。其结果，排气性能降低，泵的寿命变短。

鉴于以上情况，本发明的目的在于提供一种可以实现维持汽缸和活塞之间的密封性并提高泵的耐久性的密封构件的制造方法及成型装置。

为达成所述目的，本发明的一个实施方式涉及的密封构件的制造方法中，该密封构件安装于在汽缸内往复运动的活塞上并具有圆形平面部以及形成于所述平面部周缘的环状密封部，该方法包括：在具备具有第一内径的第一圆筒部以及形成于所述第一圆筒部一端的第一底面部的第一治具上，安装具有比所述第一内径大的第一外径的圆形树脂板；

将具备具有比所述第一内径小的第二外径的第二圆筒部以及形成于所述第二圆筒部一端的第二底面部的第二治具安装于所述第一治具上；

通过所述第一底面部和所述第二底面部以规定压力夹压所述板构件，并将所述第一治具和所述第二治具加热至规定温度，从而在所述第一底面部和所述第二底面部之间形成所述平面部，在所述第一圆筒部和所述第二圆筒部之间形成所述密封部。

本发明的实施方式涉及的成型装置具备金属制的第一治具、金属制的第二治具及夹持机构。

所述第一治具包括具有第一端部并以第一内径形成的第一圆筒部、以及形成于所述第一端部的第一底面部，并安装有具有比所述第一内径大的第一外径的圆形树脂板；

所述第二治具包括具有第二端部并以比所述第一内径小的第二外径形成的第二圆筒部、以及形成于所述第二端部的第二底面部。所述第二治具通过所述第一底面部和所述第二底面部夹持所述树脂板，通过所述第一圆筒部和所述第二圆筒部夹持所述树脂板的周缘；

所述夹持机构在使所述第一底面部和所述第二底面部接近的方向夹持所述第一治具和所述第二治具。

附图说明

图1为示出了具备安装了本发明的实施方式涉及的密封构件的活塞的真空泵的结构的概略剖面示意图；

图2为示出了所述活塞及其周缘构造的放大图；

图3为说明所述活塞的动作的示意图；

图4为成型所述密封构件的成型装置的分解立体图；

图5为所述成型装置的概略剖面示意图；

图6为说明从所述成型装置取出密封构件的工序的概略剖面图；

图7为示出了使用以不同成型条件制作的多个密封构件构成真空泵时的各密封构件的磨损量的实验结果；

图8为示出了使用以不同成型条件制作的多个密封构件构成真空泵时的该真空泵的电力消耗的实验结果；

图9为示出了所述密封构件的成型温度与磨损量之间的关系的实验结果；

图10为示出了所述密封构件的成型温度与真空泵的电力消耗之间的关系的实验结果；

图11为示出了所述密封构件的成型温度与真空泵的温度上升量之间的关系的实验结果。

附图标记说明

1 真空泵

5 活塞

50 密封构件

50a 平面部

50b 密封部

50S 树脂板

100 成型装置

110 第一治具

111 第一圆筒部

112 第一底面部

113 第一嵌合部

120 第二治具

121 第二圆筒部

122 第二底面部

123 第二嵌合部

130 紧固件

具体实施方式