[发明专利]高效多晶硅铸锭方法有效
| 申请号： | 201210015367.1 | 申请日： | 2012-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN103205797A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 王楠;郭大伟;王再东;霍帅 | 申请（专利权）人： | 北京京运通科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100176 北京市通州*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高效 多晶 铸锭 方法 | ||
1.一种高效多晶硅铸锭方法，其特征在于，包括：
投料：将多晶硅料装入坩埚中；
抽空检漏：将装有多晶硅料的坩埚投入铸锭炉内，合炉后进行抽真空检漏；
加热：检漏通过后开始通电加热，先以真空模式与进气控制升至200mbar气体模式交替的方式，将加热功率由0Kw逐步升至140Kw，再将功率保持在140Kw，利用进气控制使炉室内压力逐步升至600mbar，最后利用出气控制将炉室内压力保持在600mbar，温度升至1520℃以上；
熔化：在600mbar气体模式下，先将温度保持在1520℃以上，使多晶硅料稳定熔化，硅原料全部熔化后，将温度逐步降低至1450℃以下并保持温度的稳定；
长晶：在600mbar气体模式下，将温度逐步降低至1400℃-1410℃之间，同时将隔热笼逐步开启至15cm-25cm之间，使硅晶体以一定速度定向生长；
退火：在一定时间内，将隔热笼闭合，同时将温度降低至1400℃以下并在此温度保温一段时间，以消除硅锭内部热应力；
冷却：逐步打开隔热笼，将硅锭冷却至400℃以下，出炉。
2.根据权利要求1所述的高效多晶硅铸锭方法，其特征在于：所述退火步骤中，所述将温度降低至1400℃以下并在此温度保温一段时间，具体为：
将温度降低至1370℃并在此温度保温一段时间，该保温时间在3小时以内。
3.根据权利要求1所述的高效多晶硅铸锭方法，其特征在于：所述投料步骤具体为：将重量为480至520kg的多晶硅料装入870×870×480mm的方坩埚中。
4.根据权利要求1所述的高效多晶硅铸锭方法，其特征在于：所述投料步骤具体为：将重量为660至800kg的多晶硅料装入1050×1050×480mm的方坩埚中。
5.根据权利要求1所述的高效多晶硅铸锭方法，其特征在于：所述加热步骤中，所述利用出气控制将炉室内压力保持在600mbar，温度升至1520℃以上，具体为：
利用出气控制将炉室内压力保持在600mbar，温度升至1540℃。
6.根据权利要求1所述的高效多晶硅铸锭方法，其特征在于：所述熔化步骤中，所述将温度逐步降低至1450℃以下，具体为：
将温度逐步降低至1440℃。
7.根据权利要求1所述的高效多晶硅铸锭方法，其特征在于：所述长晶步骤中，所述将温度逐步降低至1400℃-1410℃之间，具体为：
将温度逐步降低至1410℃。
8.根据权利要求1所述的高效多晶硅铸锭方法，其特征在于：所述长晶步骤中，所述将隔热笼逐步开启至15cm-25cm之间，具体为：
将隔热笼逐步开启至20cm。
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